小型等離子清洗機
PC5-Plus型是雙路氣體輸入，不銹鋼艙體：Φ150mm×270mm
容量：5升
供電電源： AC220V
工作電流： 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 300W
射頻頻率： 40KHz或13.56MHz 選裝（偏移量小于0.2KHz）
頻率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 10Pa—1000Pa
氣體流量： 60—600ml/min(可調(diào))
過程控制： MCU自動與手動方式
清洗時間： 1-100分鐘可調(diào)
功率大小 10%-99%可調(diào)
外形尺寸： PT-5S型_400x450x250
重量： 36.5Kg
真空泵： 2XZ-4
真空室溫度： 小于65°C
冷卻方式： 強制風(fēng)冷

【等離子清洗機應(yīng)用及原理】

一、金屬表面去油及清潔

金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到潔凈和無氧化層的表面。 在這種情況下的等離子處理會產(chǎn)生以下效果：

1.1灰化表面有機層

－表面會受到化學(xué)轟擊（氧 下圖）

－在真空和瞬時高溫狀態(tài)下，污染物部分蒸發(fā)

－污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出

－紫外輻射破壞污染物

因為等離子處理每秒只能穿透幾個納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。

1.2氧化物去除

金屬氧化物會與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（下圖）

這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時也采用兩步處理工藝。步先用氧氣氧化表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時用幾種氣體進行處理。

1.3焊接

通常，印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除，否則會帶來腐蝕等問題。

1.4鍵合

好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進行等離子清潔。

二、等離子刻蝕

在等離子刻蝕過程中，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣相（例如在使用氟氣對硅刻蝕時，下圖）。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料）。

等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化填充混合物，同時得到分布分析情況?？涛g方法在塑料印刷和粘合時作為預(yù)處理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積。

三、刻蝕和灰化

PTFE刻蝕

PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。，使用活躍的堿性金屬可以增強粘合能力，但是這種方法不容易掌握，同時溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護環(huán)境，還能達到更好效果。（下圖）

等離子結(jié)構(gòu)可以使表面，同時在表面形成一個活性層，這樣塑料就能夠進行粘合、印刷操作。

PTFE混合物的刻蝕

PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細地進行，以免填充物被過度暴露，從而削弱粘合力。

處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣?？梢詰?yīng)用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。

四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔

塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、PTFE一樣是沒有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進行處理。同時，玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒處理相比不會損害樣品。同時還可以十分均勻地處理整個表面，不會產(chǎn)生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品也可以處理。

· 不需要用溶劑進行預(yù)處理

· 所有的塑料都能應(yīng)用

· 具有環(huán)保意義

· 占用很小工作空間

· 成本低廉

等離子表面處理的效果可以簡單地用水來驗證，處理過的樣品表面被水潤濕。長時間的等離子處理（大于15分鐘），材料表面不但被活化還會被刻蝕，刻蝕表面具有潤濕能力。常用的處理氣體為：空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF₄等

五、等離子涂鍍聚合

在涂鍍中兩種氣體同時進入反應(yīng)艙，氣體在等離子環(huán)境下匯聚合。這種應(yīng)用比活化和清潔的要求要嚴(yán)格一些。典型的應(yīng)用是保護層的形成，應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類似PTFE材質(zhì)的涂鍍、防水涂鍍等。涂鍍層非常薄，通常為幾個微米，此時表面的親和力非常好。 常用的有3種情況

· 防水涂鍍—環(huán)己物

· 類似PTFE材質(zhì)的涂鍍---含氟處理氣體

· 親水涂鍍---乙烯醋酸

小型等離子清洗機具有成本低廉、操作靈活的特點， 與動輒十幾萬美元的大型產(chǎn)品相比小型等離子清潔小型機具有以下優(yōu)點:

1、可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。

2、不會對人員的身體造成任何傷害。

3、其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

小型等離子設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗和表面改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。

其具體應(yīng)用包括：

1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化

玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是沒有極性的，因此這些材料在進行粘合、油漆和涂覆之前要進行表面活化處理。

2、金屬去油及清潔

金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到潔凈和無氧化層的表面。

焊接操作前：通常印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除，否則會帶來腐蝕等問題。

鍵合操作前：好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進行等離子清潔。

特 點：

· 操作簡便、成本低廉

· 高效真空電極

· 氣體流量通過流量計和針閥實現(xiàn)精確控制

· 功率可在200W以內(nèi)調(diào)節(jié)控制（能夠能夠滿足清潔需要，200W以上功率用于刻蝕）

· 自動阻抗匹配

· 自由設(shè)置參數(shù)：處理時間、功率、氣體、壓力

· 安全保護功能：真空觸發(fā)、艙門鎖

【等離子清洗器應(yīng)用方式】

1. 等離子清洗

· 常規(guī)的清洗方法不能將材料表面薄膜去除，而會留下一層很薄的雜質(zhì)層，而且溶劑清洗就是這類典型例子。

· 等離子清洗器使用就是通過等離子體對材料表面的轟擊，輕柔地和地對表面擦洗。

·等離子清洗將除去不可見的油膜、微小的銹跡和其它由于用戶接觸室外暴露等等在表面形成的這類污物，而且，等 離子清洗不會在表面留下殘余物。

· 等離子清洗器能夠處理多種類型材料：包括塑料、金屬、陶瓷以及幾何形狀各異的表面。

· 等離子清洗器的優(yōu)點在于它不但能清洗掉表面的污物，而且還能增強材料表面的粘附性能。

2. 聚合物清洗

① 聚合物的表面清洗

· 等離子消融作用通過高能的電子和離子對材料表面的轟擊，機械地去除污物層。

· 等離子表面清洗可去除可能存在于某些加工過的聚合物的污物層，不需要的聚合物表面涂層和弱的邊界層

② 聚合物的表面重組

· 等離子消融作用中使用的惰性氣體破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵從而導(dǎo)致聚合物表面自由官能團的形成。

· 聚合物表面的自由官能團重新成鍵形成原始的聚合物結(jié)構(gòu)，也能與在相同的聚合物鏈上鄰近的自由官能團成鍵，或與在不同的聚合物鏈上附近的自由官能團成鏈。

· 聚合物表面結(jié)構(gòu)重組能夠改進表面的硬度和化學(xué)抗性。

③ 聚合物的表面改性

· 等離子消融作用破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵，從而導(dǎo)致聚合物表面 自由官能團的形成。

· 基于等離子過程氣體的化學(xué)性質(zhì)，這些表面自由官能團與等離子中原子或化學(xué)基的連接形成了新的聚合物功能組， 代替舊的表面聚合物功能組。

· 聚合物表面改性能夠改變材料表面的化學(xué)性質(zhì)，而材料整體性質(zhì)不會改變。

④ 聚合物的表面鍍膜

· 等離子鍍膜是通過過程氣體的聚合作用在材料基層表面形成一層薄的等離子涂層。

· 如果被使用的生產(chǎn)氣體由復(fù)合分子組成，如：甲烷、四氟化物、碳，那么他們在等離子態(tài)將破裂，形成自由的官能單體，這些官能單體將在聚合物表面成鍵和重新化合在聚合物表面鍍膜。

· 這種聚合物表面涂層能明顯地改變表面的滲透性和磨擦性。

⒊ 生物材料

①. 消毒、殺菌：

· 等離子消毒處理在醫(yī)療設(shè)備的消毒殺菌上得到了許多認(rèn)可。

· 等離子處理在醫(yī)療器具的同步清洗和消毒上有很大潛力。

· 等離子消毒殺菌特別適用于對高溫、化學(xué)物質(zhì)、照射、過敏的醫(yī)學(xué)器具或牙科移植物及設(shè)備的清洗。

②. 粘附力的提高

· 很多生物材料的介質(zhì)表面能量很低，使它很難有效地進行粘附和涂層。

· 等離子表面活化導(dǎo)致表面功能組的形成，這些功能組將加強生物材料表面能量和改善界面的粘附力。

③. 浸潤性

· 大多數(shù)未處理的生物材料具有很弱的濕潤性 (親水性) 。

· 等離子表面處理可以增加或減少多種不同的生物材料的親水性。

· 通過等離子活化可使表面親水，通過等離子鍍膜，可使表面憎水。

④. 低摩擦力和阻礙層

· 一些材料對酯和聚合物表面的磨擦系數(shù)很高，如聚氨基甲酸酯。

· 等離子涂層具有很小的摩擦系數(shù)，使生物材料表面變得更光滑。

· 等離子涂層也能形成一個較密的阻礙層，來減少液體或氣體對生物材料的滲透性。