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CS200質(zhì)量流量計(jì)氣體配比器

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公司名稱(chēng)鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2024/4/28 10:27:08
訪問(wèn)次數(shù)93

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開(kāi)發(fā)、制造、經(jīng)營(yíng)為一體的材料設(shè)備創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國(guó)內(nèi)大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室，科探儀器已經(jīng)成為老師同學(xué)和信任的品牌。公司以科技創(chuàng)新為主，服務(wù)社會(huì)為宗旨，積極設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)新型材料制備設(shè)備，奉獻(xiàn)于教育和科學(xué)，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累，擁有熱工，制造，控制相關(guān)技術(shù)項(xiàng)為化學(xué)，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過(guò)和院校老師同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，形成了有效的信息，技術(shù)交流平臺(tái)，為科探儀器了解市場(chǎng)需求提供了強(qiáng)有力的支持！

目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐 CVD供氣系統(tǒng) 等離子清洗機(jī) 小型離子濺射儀小型蒸鍍儀石英管真空封口真空探針臺(tái) 半導(dǎo)體等。主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷(xiāo)于各大院校，及材料研究所。

公司與國(guó)內(nèi)高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。

展開(kāi)顯示更多內(nèi)容

小型濺射儀，小型蒸鍍儀，真空試管封口機(jī)，真空探針臺(tái)，等離子清洗機(jī)，真空加熱腔

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢(xún)價(jià)

CS200質(zhì)量流量計(jì)氣體配比器，CS200采用*傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達(dá)到設(shè)定值1%以?xún)?nèi)，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時(shí)，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi)，CS200C產(chǎn)品可在800ms以?xún)?nèi)達(dá)到設(shè)定流量，響應(yīng)時(shí)間將使用過(guò)程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差最小化，所需流量更加精準(zhǔn)。

CS200質(zhì)量流量計(jì)氣體配比器產(chǎn)品信息

CS200質(zhì)量流量計(jì)氣體配比器

CS200質(zhì)量流量計(jì)氣體配比器 KT-C4ZS模擬質(zhì)量流量控制器高精度型,快響應(yīng)型流量控制流量檢測(cè) 國(guó)際兼容用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)

CS200氣體質(zhì)量流量控制器，采用*傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達(dá)到設(shè)定值1%以?xún)?nèi)，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時(shí)，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi)，CS200C產(chǎn)品可在800ms以?xún)?nèi)達(dá)到設(shè)定流量，響應(yīng)時(shí)間將使用過(guò)程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差最小化，所需流量更加精準(zhǔn)。

• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。

• CS200C產(chǎn)品采用專(zhuān)門(mén)的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)10RA以下，CS200D產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達(dá)25RA。

• CS200產(chǎn)品嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造，尺寸符合國(guó)際通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。

• 產(chǎn)品支持RS485，DeviceNet通訊方式。

• 具有多氣體多量程功能、自動(dòng)歸零功能、報(bào)警功能、軟啟動(dòng)功能、延遲功能及功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶(hù)端使用軟件。

技術(shù)參數(shù)

CS200
類(lèi)型	CS200-A		CS200-C		CS200-D
閥類(lèi)型	常開(kāi)(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉	無(wú)	常開(kāi)(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉	無(wú)	常開(kāi)(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉	無(wú)
流量規(guī)格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM		(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準(zhǔn)確度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤ 1sec		≤ 0.8sec
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa
工作壓力	0.45MPa
溫度系數(shù)	零點(diǎn)： ≤±0.05% F.S./℃；調(diào)節(jié)時(shí)： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規(guī)格≤30SLM 調(diào)節(jié)時(shí)： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規(guī)格＞30SLM		零點(diǎn)： ≤±0.02% F.S./℃；調(diào)節(jié)時(shí)： ≤±0.05% F.S./℃
耐壓強(qiáng)度	3MPa
漏率	1×10^-10 Pa·m³ / sec He		1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	氟橡膠		金屬密封
工作環(huán)境溫度	（5～45）℃		（0～50）℃
輸入信號(hào)	數(shù)字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無(wú)	數(shù)字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無(wú)	數(shù)字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無(wú)
輸出信號(hào)	數(shù)字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂	在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年
電源	±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學(xué)成分	常態(tài)		Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）		常態(tài)
表面粗糙度	25 Ra		10 Ra		25 Ra
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套 φ6；雙卡套 1/4′′；雙卡套 3/8′′；VCR1/4′′陽(yáng)接頭；雙卡套φ3；雙卡套 1/8′′；VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭； φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;		雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽(yáng)接頭； 1.5′′C 型密封接頭;1.5′′ W型密封接頭
電源接頭形式	D 型 9 針陽(yáng)接頭；D 型 15 針陽(yáng)接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1.2Kg	1Kg