產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
ULVAC CS-200系列磁控濺射鍍膜設(shè)備是一款追求低成本和用戶(hù)友好操作的磁控濺射設(shè)備,通過(guò)增加配有機(jī)械手d裝載固定腔室(Load lock chamber)使在上下基板時(shí)工藝腔室仍保持真空。
主要技術(shù)參數(shù):
·適用于小于8inch的各種基板;
·配備300℃的基本加熱裝置,可選配600℃的基本加熱裝置;
·可選配RF源;
·膜厚均勻性好于±5%;
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主要技術(shù)參數(shù):
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