CS200質(zhì)量流量計(jì)氣體配比器
CS200質(zhì)量流量計(jì)氣體配比器 KT-C4ZS模擬質(zhì)量流量控制器 高精度型,快響應(yīng)型 流量控制 流量檢測(cè) 國(guó)際兼容用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)
CS200氣體質(zhì)量流量控制器,采用*傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù),因此產(chǎn)品精度可以達(dá)到設(shè)定值1%以?xún)?nèi),并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時(shí),產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi),CS200C產(chǎn)品可在800ms以?xún)?nèi)達(dá)到設(shè)定流量,響應(yīng)時(shí)間將使用過(guò)程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差最小化,所需流量更加精準(zhǔn)。
• 采用的恒功率傳感器原理,在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償,從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象,保證了傳感器線(xiàn)性。
• CS200C產(chǎn)品采用專(zhuān)門(mén)的金屬表面處理技術(shù),與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,CS200C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)10RA以下,CS200D產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達(dá)25RA。
• CS200產(chǎn)品嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造,尺寸符合國(guó)際通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字,模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品支持RS485,DeviceNet通訊方式。
• 具有多氣體多量程功能、自動(dòng)歸零功能、報(bào)警功能、軟啟動(dòng)功能、延遲功能及功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶(hù)端使用軟件。
技術(shù)參數(shù)
CS200 | ||||||
類(lèi)型 | CS200-A | CS200-C | CS200-D | |||
閥類(lèi)型 | 常開(kāi)(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉 | 無(wú) | 常開(kāi)(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉 | 無(wú) | 常開(kāi)(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉 | 無(wú) |
流量規(guī)格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||
準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |||||
線(xiàn)性 | ±0.5% F.S. | |||||
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |||||
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | ||||
工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | <0.02 MPa | 0.05~0.35MPa | <0.02 MPa | 0.05~0.35MPa | <0.02 MPa |
工作壓力 | 0.45MPa | |||||
溫度系數(shù) | 零點(diǎn): ≤±0.05% F.S./℃; | 零點(diǎn): ≤±0.02% F.S./℃; | ||||
耐壓強(qiáng)度 | 3MPa | |||||
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | ||||
密封材料 | 氟橡膠 | 金屬密封 | ||||
工作環(huán)境溫度 | (5~45)℃ | (0~50)℃ | ||||
輸入信號(hào) | 數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | 無(wú) | 數(shù)字: RS485 | 無(wú) | 數(shù)字: RS485 | 無(wú) |
輸出信號(hào) | 數(shù)字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | |||||
零漂 | 在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)<0.6%F.S./年 | |||||
電源 | ±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極) | |||||
表面化學(xué)成分 | 常態(tài) | Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 (埃) | 常態(tài) | |||
表面粗糙度 | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套 φ6;雙卡套 1/4′′;雙卡套 3/8′′;VCR1/4′′陽(yáng)接頭;雙卡套φ3; | 雙卡套φ3;雙卡套φ6;雙卡套 1/4;VCR1/4 陽(yáng)接頭; | ||||
電源接頭形式 | D 型 9 針陽(yáng)接頭;D 型 15 針陽(yáng)接頭;DeviceNet 接頭; ProfiBus 接頭;模擬接頭 | |||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |