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TOHO 薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x

參考價(jià)	￥ 640000
訂貨量	≥1臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱北京中科復(fù)華科技有限公司
品牌其他品牌
型號(hào)日本 Toho
所在地北京市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2024/4/9 9:34:09
訪問(wèn)次數(shù)367

產(chǎn)品標(biāo)簽:

薄膜應(yīng)力測(cè)試薄膜應(yīng)力測(cè)量

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北京中科復(fù)華科技有限公司是一家致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域和微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國(guó)各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導(dǎo)體設(shè)備儀器和微納米科學(xué)儀器，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。未來(lái)公司將不斷和引進(jìn)在微納米科學(xué)領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品，同時(shí)也與全國(guó)各所的大學(xué)、學(xué)院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系，致力于把具有市場(chǎng)前景的科研成果推向市場(chǎng)。愿與中、外同仁廣泛合作，為中國(guó)的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)。

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電子束曝光系統(tǒng)，刻蝕設(shè)備，鍍膜設(shè)備，光刻機(jī)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	進(jìn)口

薄膜應(yīng)力測(cè)量：

在硅片等基板上附膜時(shí)，由于基板和薄膜的物理定數(shù)有異，產(chǎn)生應(yīng)力，進(jìn)而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現(xiàn)為基板的翹曲，而薄膜應(yīng)力測(cè)量裝置FLX系列可從這個(gè)翹曲（曲率半徑）的變化量測(cè)量其應(yīng)力。

TOHO 薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x 產(chǎn)品信息

技術(shù)參數(shù)：

Toho FLX-2320-S薄膜應(yīng)力計(jì)精確測(cè)量多種襯底材料、金屬和電介質(zhì)等薄膜應(yīng)力。

主要特點(diǎn)：

◆雙光源掃描（可見(jiàn)光激光源及不可見(jiàn)光激光源），系統(tǒng)可自動(dòng)選擇適合的匹配之激光源；
◆系統(tǒng)內(nèi)置升溫、降溫模擬系統(tǒng)，便于量測(cè)不同溫度下薄膜的應(yīng)力，溫度調(diào)節(jié)范圍為-65℃至500℃；
◆自帶常用材料的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)，并可根據(jù)客戶需要添加新型材料相關(guān)信息至數(shù)據(jù)庫(kù)，便于新材料研究；
◆形象的軟件分析功能，用于不同測(cè)量記錄之間的比較，且測(cè)量記錄可導(dǎo)出成Excel等格式的文檔；
◆具有薄膜應(yīng)力3D繪圖功能。

用戶界面：

WINDOWS OS易懂操作界面。

另搭載豐富的基板材料數(shù)據(jù)庫(kù)。自動(dòng)保存測(cè)量數(shù)據(jù)等方便性能。

每個(gè)用戶可分別設(shè)定訪問(wèn)權(quán)限。使用自帶軟件實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單卻性能高，簡(jiǎn)單測(cè)量