北京中科復(fù)華科技有限公司是一家致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域和微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導(dǎo)體設(shè)備儀器和微納米科學(xué)儀器，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的技術(shù)團(tuán)隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。未來公司將不斷和引進(jìn)在微納米科學(xué)領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品，同時也與全國各所的大學(xué)、學(xué)院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系，致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作， 為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)。
一種圖形發(fā)生器，用于電子束、離子
束等帶電粒子的曝光機(jī)，屬于曝光機(jī)的圖形
發(fā)生器硬件。本實用新型提供一種運(yùn)算速度
快、接口簡單、功耗低、功能多樣的曝光機(jī)
用的圖形發(fā)生器，它以高速數(shù)字信號處理器
為核心，通過通用串行總線接口 和上位機(jī)實現(xiàn)通訊，該圖形發(fā)生器不僅可以滿足以三角形，矩形和梯形為基本曝光單元圖形的曝光格式，而且 增加了圓及圓環(huán)為具本曝光單元圖形，解決了集成光柵器件加工在速度度和精度上存在的缺陷。本實用新型由接口電路、雙端口存儲器電路、數(shù)學(xué)信號處理器電路、數(shù)模轉(zhuǎn)換電路、曝光標(biāo)記檢測控制電路、標(biāo)記檢測電路、最終曝光數(shù)據(jù)寄存器單元和束閘控制電路相互連接構(gòu)。
曝光精度：100納米
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