常規(guī)配置真空系統(tǒng)
真空泵:2X-70 SV300 E2M275
增壓泵:ZJP600 WAU2001 EH2600
高真空泵:分子泵低溫泵擴散泵
真空室加熱系統(tǒng):溫度:0到200℃
型號:不銹鋼管裝加熱器
基片架盤型號:12軸公轉或公自轉,轉速:0到30轉數/分軟啟,軟停,可調速電器控制系統(tǒng):PC和PLC控制
VAC系統(tǒng):進口復合真空計
MFC系統(tǒng):進口質量流量控制器;進口電磁閥
APC系統(tǒng):工藝氣體自動恒壓控制系統(tǒng)
偏壓電源:直流脈沖電源
濺射電源:直流脈沖電源電源;中頻電源
弧源:多弧,平面,孿生,柱靶
深冷系統(tǒng):DW-3
全程自動控制鍍膜,保障生產產品的一致性,重復性,穩(wěn)定性。