內(nèi)置 AFM/SPM
可充分利用SEM/ FIB-SEM的快速成像并同時(shí)獲得SPM的信息！
RISE Microscopy
一臺掃描電鏡和拉曼光譜聯(lián)用系統(tǒng)
TOF-SIMS & FERA3
飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS)已經(jīng)可以安裝在TESCAN 的LYRA3系列 （鎵離子源FIB-SEM）和的FERA3（Xe等離子源FIB-SEM）。
EBIC - 電子束感生電流探頭
TESCAN 在電子束感應(yīng)電流/電阻(EBIC)的測量和面掃中加了一種新的方式。內(nèi)置的EBIC探頭，可以快速便捷的實(shí)現(xiàn)所有軟件允許的應(yīng)用功能。而且TESCAN 使用了納米探針作為新的EBIC探頭的連接方式。創(chuàng)新的方式使得3維EBIC分析成為了現(xiàn)實(shí)。
MIRA3 AMU 定制樣品室
TESCAN公司提供可定制的超大等級的樣品室。
電子束寫入模塊包（EBL)
電子束寫入模塊（EBL) 是一款技術(shù)已經(jīng)成熟的配件，它可以在納米級別上對的結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整或修改。
TOP-SIMS
這款產(chǎn)品集成了TESCAN公司的聚焦離子束掃描電鏡和Tofwerk公司提供的飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀的所有特征。
