GAIA3的突出特點(diǎn)
·單極60°電磁物鏡設(shè)計(jì),的SEM分辨率
·的多種成像模式—大視場(chǎng)模式,分辨率模式以及景深模式—這些功能都基于TESCAN的大視場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)
·馬達(dá)控制的精準(zhǔn)樣品臺(tái),可進(jìn)行精確的移動(dòng)或傾轉(zhuǎn)操作
·Field-free模式下可對(duì)磁性樣品進(jìn)行有效觀察
·高達(dá)200nA的束流強(qiáng)度
·停留時(shí)間低至20ns的快速電子束刻蝕速度
·FIB的Cobra光學(xué)系統(tǒng),確保聚焦離子束的分辨率和優(yōu)異的性能,離子束流為1pA到50nA
·強(qiáng)大的DrawBeam軟件包,包含許多可編程設(shè)計(jì)模塊(基礎(chǔ)版和高級(jí)版)來(lái)實(shí)現(xiàn)掃描及制樣等過(guò)程中可調(diào)參數(shù)的多樣化
·不僅具有對(duì)樣品表面進(jìn)行修飾和觀察的多種功能,的空間設(shè)計(jì)還能夠使電鏡通過(guò)接口兼容多種探測(cè)設(shè)備與技術(shù)手段,且還能保持一致的分析工作距離