晶圓XRD的特點:
◇ 自動化的晶圓處理和分類系統(tǒng)(例如:盒到盒)。
◇ 晶體取向和電阻率測量
◇ 晶片的幾何特征(缺口位置、缺口深度、缺口開口角度、直徑、平面位置和平面長度)的光學測定
◇ 未拋光的晶圓和鏡面的距離測量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
的Omega-scan方法:
◇ 高的精度
◇ 測量速度: < 5秒/樣品
◇ 易于集成到工藝線中
◇ 典型的標準偏差傾斜度(例如:Si 100): < 0.003 °,小于< 0.001 °。
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全自動化的晶圓分揀和處理系統(tǒng)