晶體反射的搖擺曲線表示晶格的質(zhì)量。這可以點(diǎn)下來進(jìn)行快速檢查,也可以與Mapping工具結(jié)合起來,得到一個(gè)質(zhì)量圖。
測量搖擺曲線意味著在Theta-scan模式下進(jìn)行測量,這需要一個(gè)測角儀。一個(gè)雙晶體被帶入主光束路徑,以減少光譜寬度和發(fā)散度。然而,其副作用是強(qiáng)烈的強(qiáng)度降低。因此,雙晶體被安裝在一個(gè)可伸縮的支架上,以便能夠?qū)⑵?"打開 "或 "關(guān)閉"。
Rocking curves of a 6H SiC crystal measured along a line on spots of 8 mm distance