晶體反射的搖擺曲線表示晶格的質(zhì)量。這可以點下來進(jìn)行快速檢查，也可以與Mapping工具結(jié)合起來，得到一個質(zhì)量圖。

測量搖擺曲線意味著在Theta-scan模式下進(jìn)行測量，這需要一個測角儀。一個雙晶體被帶入主光束路徑，以減少光譜寬度和發(fā)散度。然而，其副作用是強(qiáng)烈的強(qiáng)度降低。因此，雙晶體被安裝在一個可伸縮的支架上，以便能夠?qū)⑵?"打開 "或 "關(guān)閉"。

Rocking curves of a 6H SiC crystal measured along a line on spots of 8 mm distance