amux超純水專用鈦換熱器TBS-MT05
由于材質(zhì)為鈦,因此其熱交換效率比聚四氟乙烯高得多。
利用結構緊湊、需要少量冷卻水的優(yōu)勢,安裝空間小也是控制局部設備生產(chǎn)線上水溫的一大優(yōu)勢。
價格也比特氟龍低。
它可以用來替代傳統(tǒng)的聚四氟乙烯熱交換器。
超純水
由于雜質(zhì)和金屬離子的洗脫率極低(TOC 10ppb 水平),因此保持了與聚四氟乙烯換熱器相同的清潔度水平。
(我們與多家半導體制造設備制造商擁有良好的合作記錄。)
臭氧水
它也可以與臭氧水一起使用,沒有任何問題。
配備鈦釬焊板式換熱器
這是一款采用世界鈦釬焊超清潔制造方法的原創(chuàng)熱交換器,零件和粘合材料均采用專門的鈦釬焊技術。
我們成功地顯著減小了傳統(tǒng)聚四氟乙烯熱交換器的尺寸。
其緊湊的尺寸使其重量輕且易于放置,且不占用太多空間。
半導體制造商通過成分分析明確標準值
超級清潔,TOC=10ppd。實現(xiàn)無污染!
當非電阻 = 15MΩ 或更大時清零。
與鐵氟龍換熱器比較
1、價格低廉
2. 非常緊湊
3.可減少冷卻水流量(使用量)(節(jié)能)
4、可在接近冷卻水的水溫下提取超純水
(最大△t在2℃以內(nèi))
amux超純水專用鈦換熱器TBS-MT05
型號/型號 | TBS-MT05 | TBS-MT07 | TBS-MT11 | TBS-MT21 | TBS-LT21 | TBS-LT41 |
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尺寸長x寬x高 | 310×90×25 | 310×90×33 | 310×90×47 | 310×90×82 | 580×150×80 | 580×150×156 |
回路數(shù)(高/低溫) | 5(2/3) | 7(3/4) | 11(5/6) | 21(10/11) | 21(10/11) | 41(20/21) |
傳熱面積(m2) | 0.085 | 0.128 | 0.213 | 0.427 | 1.388 | 2.776 |
設計壓力(MPa) | 2兆帕 | |||||
設計溫度(℃) | -196℃~+200℃ | |||||
流量(升/分鐘) | 2~16 | 2~24 | 2~40 | 2~80 | 10~200 | 10~400 |
體重(公斤) | 1.35 | 1.65 | 2.26 | 3.8 | 11.4 | 21.5 |