具有出色精度和光學(xué)性能的LEXT™OLS5100激光共聚焦顯微鏡配備了讓系統(tǒng)更加易于使用的智能工具。其能夠快速高效完成亞微米級(jí)形貌和表面粗糙度的精確測(cè)量任務(wù)，既簡(jiǎn)化了工作流程又能讓您獲得可信賴的高質(zhì)量數(shù)據(jù)。
用于材料分析的激光顯微鏡
更智能的工作流程，更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)
適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測(cè)量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合，讓顯微鏡更加方便使用。通過(guò)快速高效精確測(cè)量亞微米級(jí)形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡(jiǎn)化您的工作流程。
保證測(cè)量準(zhǔn)確度
LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準(zhǔn)確的測(cè)量數(shù)據(jù)。與智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可獲得可靠的高精度數(shù)據(jù)。
有保證的測(cè)量準(zhǔn)確度*
奧林巴斯享譽(yù)世界的光學(xué)器件能夠以更低像差在整個(gè)視場(chǎng)中捕捉樣品的真實(shí)形貌
智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）還可幫助您選擇合適的物鏡進(jìn)行粗糙度測(cè)量
*本網(wǎng)頁(yè)上包括保證的準(zhǔn)確度在內(nèi)的信息基于奧林巴斯設(shè)定的條件。
簡(jiǎn)化材料工程與失效分析實(shí)驗(yàn)管理
測(cè)試新材料時(shí)的實(shí)驗(yàn)條件管理具有復(fù)雜性，OLS5100激光顯微鏡的智能實(shí)驗(yàn)管理助手（Smart Experiment Manager）可通過(guò)關(guān)鍵步驟（如創(chuàng)建實(shí)驗(yàn)計(jì)劃）自動(dòng)化簡(jiǎn)化這一過(guò)程。
· 提升30％的速度加快完成測(cè)量任務(wù) *
· 掃描計(jì)劃隨數(shù)據(jù)采集自動(dòng)生成
· 無(wú)需花費(fèi)時(shí)間轉(zhuǎn)錄數(shù)據(jù)，軟件為您自動(dòng)完成
*與OLS5000相比
LEXT™OLS5100激光共聚焦顯微鏡規(guī)格參數(shù)
| 型號(hào) | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | |
|---|---|---|---|---|---|
| 總倍率 | 54x–17,280x | ||||
| 視場(chǎng) | 16 µm–5,120 µm | ||||
| 測(cè)量原理 | 光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 顏色 彩色DIC | |||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相機(jī) | ||||
| 高度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 0.5 nm | |||
| 動(dòng)態(tài)范圍 | 16位 | ||||
| 重復(fù)性σn -1*1 *2 *5 | 5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm | ||||
| 準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 0.15 + L / 100μm（L：測(cè)量長(zhǎng)度[μm]） | ||||
| 拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長(zhǎng)度[μm]) | ||||
| 測(cè)量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5 | 1 nm（典型值） | ||||
| 寬度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 1 nm | |||
| 重復(fù)性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm | ||||
| 準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 測(cè)量值+/- 1.5% | ||||
| 拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接長(zhǎng)度[mm]） | ||||
| 單次測(cè)量時(shí)測(cè)量點(diǎn)數(shù)量 | 4096 × 4096像素 | ||||
| 測(cè)量點(diǎn)數(shù)量 | 3600萬(wàn)像素 | ||||
| XY載物臺(tái)配置 | 長(zhǎng)度測(cè)量模塊 | ? | 不適用 | 不適用 | ? |
| 工作范圍 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng) | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng) | 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng) | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng) | |
| 樣品高度 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) | 30 mm (1.2 in.) | 30 mm (1.2 in.) | 210 mm (8.3 in.) | |
| 激光光源 | 波長(zhǎng) | 405 nm | |||
| 輸出 | 0.95 mW | ||||
| 激光等級(jí) | 2級(jí)（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） | ||||
| 彩色光源 | 白光LED | ||||
| 電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | |
| 質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約 31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約 43 kg |
| 控制箱 | 約 12 kg | ||||
*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時(shí)提供保證（溫度：20?C±1?C，濕度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所規(guī)定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測(cè)量時(shí)倍率20x或更高。
*3 在使用專用LEXT物鏡測(cè)量時(shí)。
*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測(cè)量時(shí)的典型值。
*5 基于奧林巴斯認(rèn)證系統(tǒng)下的保證。
** Window 10的OS許可已通過(guò)奧林巴斯提供的顯微鏡控制器認(rèn)證。因此接受Microsoft許可條款即表示您同意這些條款。
物鏡
| 系列 | 型號(hào) | 數(shù)值孔徑（NA） | 工作距離（WD）（mm） |
|---|---|---|---|
| UIS2?物鏡 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
| MPLFLN5x | 0.15 | 20 | |
| 專用LEXT物鏡（10X） | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
| 專用LEXT物鏡（高性能型） | MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 |
| MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
| MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
| 專用LEXT物鏡（長(zhǎng)工作距離型） | LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 |
| LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5.2 | |
| LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | |
| 超長(zhǎng)工作距離物鏡 | SLMPLN20x | 0.25 | 25 |
| SLMPLN50x | 0.35 | 18 | |
| SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | |
| 適用于LCD樣品的長(zhǎng)工作距離物鏡 | LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 |
| LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 | |
| LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
應(yīng)用軟件
| 標(biāo)準(zhǔn)軟件 | OLS51-BSW | |||
|---|---|---|---|---|
| 數(shù)據(jù)采集app | 分析應(yīng)用程序（簡(jiǎn)單分析） | |||
| 電動(dòng)載物臺(tái)套件應(yīng)用*1 | OLS50-S-MSP | |||
| 高級(jí)分析應(yīng)用*2 | OLS50-S-AA | |||
| 薄膜厚度測(cè)量應(yīng)用 | OLS50-S-FT | |||
| 自動(dòng)邊緣測(cè)量應(yīng)用 | OLS50-S-ED | |||
| 顆粒物分析應(yīng)用 | OLS50-S-PA | |||
| 智能實(shí)驗(yàn)管理助手應(yīng)用 | OLS51-S-ETA | |||
| 球體/圓柱體表面角度分析應(yīng)用 | OLS50-S-SA | |||
*1包括自動(dòng)拼接數(shù)據(jù)采集和多區(qū)域數(shù)據(jù)采集功能。
*2包括輪廓分析、差值分析、臺(tái)階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。
