nasgiken微量金屬污染物采樣設(shè)備SC-3100
SC-3100
●通過與計算機聯(lián)機,可選擇豐富多樣的采樣模式,對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進行采樣操作。
●因為不太需要外部資源,也不太占地方,易于導(dǎo)入。
●采樣操作由設(shè)備自動完成,無需熟練工就可輕松完成采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設(shè)備自動操作,與SC-2000相比,可以減少由操作員引起的污染。
SC-8100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能、對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態(tài)、采樣液種類的要求不苛刻,另外,還可以對非重金屬離子進行采樣。
●當(dāng)然,也可以進行傳統(tǒng)的憎水采樣操作。
SC-9100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能、對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態(tài),以及采樣液種類的采樣限制,本設(shè)備有所突破,另外,也可以對非重金屬離子進行采樣。
●當(dāng)然,也可以進行常規(guī)的憎水采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設(shè)備自動操作,與SC-8100相比,可以減少由操作員引起的污染。
nasgiken微量金屬污染物采樣設(shè)備SC-3100
設(shè)備名稱 | SC-3100 | SC-8100 | SC-9100 | |||||||
操作控制 | 電腦(※3) | |||||||||
支架具的裝/卸 | 自動 | 手動 | 自動 | |||||||
采樣液的供給 | 自動 | 手動 | 自動 | |||||||
采樣液的回收 | 自動(※1) | 手動 | 自動 | |||||||
采樣基本模式 | 圓環(huán)形、扇形、固定半徑、圓弧 | |||||||||
采樣追加模式(※1) | 端面、弧形、長方形 | |||||||||
晶圓排片(※2) | 對圓環(huán)形、固定半徑、端面采樣模式有追加項 | |||||||||
吸取式采樣 | 〇 | ー | 〇 | |||||||
親水面采樣 | ー | 〇 | 〇 | |||||||
外形尺寸(WxDxH)(mm) | 630×550×600 | 600×550×700 | 630×550×790 | |||||||
重量 | 35Kg | 40Kg | 50Kg | |||||||
安裝環(huán)境 | 無塵通風(fēng)柜內(nèi) | |||||||||
所需外部資源 | 電源(100~240VAC)、 純凈水、干潔氣源 | 電源(100~240VAC)、 N2、干潔氣源 | 電源(100~240VAC)、 純凈水、N2、干潔氣源 |
※1,2: 追加項目需要另外計費,另外,對于親水狀態(tài)的晶圓,不能進行端面采樣,謹(jǐn)請諒解。
※3:配置電腦需要另外計費。