Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業(yè)界創(chuàng)新型大樣品原子力顯微鏡,支持300mm×300mm全程機動化。新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質量控制實驗室設計,可有效地檢測整個300mm晶圓,且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺,但Park的創(chuàng)新性振動隔離技術仍然能夠將系統(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (?) RMS,通常是0.3 ? RMS的水平。
可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具
·支持200mmx200mm或300mmx300mm的全自動原子力顯微鏡
·無需手動移動樣品即可實現(xiàn)樣品上每個點的精密測量
·Park NX20300 mm是專為失效分析和質量品控設計
·工業(yè)測試軟件可以實現(xiàn)樣品的全自動化批量測量,使得NX20檢測過程變得高效易用
專為大樣品晶圓檢測而建
NX20 300 mm進行了全新設計,可達到大樣品的高精度測量。整個300mm晶圓區(qū)域可進行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個全新的自動化測量范圍,讓工程師可以更快捷、更簡便、更精準地開展工作。
靈活的300mm樣品吸盤
Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓,讓用戶幾乎可準確掃描任何樣品。
300mm XY軸工作臺
機動化的300mm XY軸工作臺允許用戶在300mm的全部區(qū)域內移動原子力顯微鏡的測量位置。
針對廣泛應用性進行優(yōu)化
Park NX20 300mm原子力顯微鏡為眾多應用提供自動格式的原子力顯微鏡測量,為納米級的樣品提供精準測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量,缺陷檢查,電氣和磁故障分析,熱性能表征和納米力學性能成像等能力,該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務的理想選擇。