美國(guó)PMS顆粒儀
高科技制造工藝通常需要高純氣體。高壓氣體探測(cè)系統(tǒng)HPGP-101-C可在線壓下為工藝氣體提供可依賴的在線污染監(jiān)測(cè)。
HPGP與大多數(shù)無(wú)毒氣體兼容，可用于許多反應(yīng)性氣體監(jiān)測(cè)應(yīng)用中
PDS-E(粒子數(shù)據(jù)系統(tǒng)-以太網(wǎng))收集和報(bào)告HPGP-101-C探測(cè)器捕獲的數(shù)據(jù)。
優(yōu)點(diǎn)
降低成本
· 工藝氣體分配系統(tǒng)的速度限定
· 在影響產(chǎn)量之前測(cè)定氣體中的顆粒。
· 與氧，氫和大多數(shù)無(wú)毒氣體兼容
改進(jìn)過(guò)程控制
· 驗(yàn)證氣體質(zhì)量
· 檢測(cè)過(guò)程是否異常
· 量化系統(tǒng)變化的影響
· 準(zhǔn)確的粒度
· 便利的網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)管理軟件，用于全面數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，管理，報(bào)告和警報(bào)
可靠性
· 被動(dòng)腔式設(shè)計(jì)不需要經(jīng)常維護(hù)
· 與其他系統(tǒng)不同，HPGP不需要監(jiān)測(cè)流體
· 惰性氣體吹掃，確保安全
· 如氣體泄漏到安全艙，切斷電源
功能
· 0.1 SCFM時(shí)具備0.1μm靈敏度
· 8個(gè)粒子通道
· 40-150 psig的線壓
· 被動(dòng)激光腔
· 并行處理陣列檢測(cè)系統(tǒng)
· 安全艙
· 同時(shí)進(jìn)行雙重探測(cè)操作
· 氧氣和氫兼容性
應(yīng)用
· 氣體分配系統(tǒng)的限定
· 過(guò)程氣體監(jiān)測(cè)
· 反應(yīng)性氣體監(jiān)測(cè)
美國(guó)PMS顆粒儀
規(guī)格參數(shù)
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流體元件：
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壓力溫度：
美國(guó)PalmerWahl 圓盤壓力溫度記錄儀及溫度計(jì)系列產(chǎn)品, 日本岡崎OKAZAKI超低溫溫度計(jì)等；
工業(yè)材料：
日本預(yù)磨鎢針，專業(yè)供應(yīng)用于美國(guó)世偉洛克Swagelok，美國(guó)AMI，德國(guó)歐比泰姆Orbitalum，美國(guó)眼鏡蛇M(jìn)K等自動(dòng)焊機(jī)；V+V不銹鋼材料，銅合金材料，半導(dǎo)體耗材等；
制造與檢測(cè)：
半導(dǎo)體設(shè)備及配件，進(jìn)口自動(dòng)焊機(jī)，日本ACCESS PFA焊接機(jī)，無(wú)毛刺切割機(jī)，日本Lasertec激光顯微鏡，美國(guó)SIGHTPIPE管焊縫光學(xué)檢查內(nèi)窺鏡，美國(guó)鷹眼HAWKEYE內(nèi)窺鏡，日本奧林巴斯內(nèi)窺鏡，日本VCR限流墊片/孔板，英?？礗NFICON氦檢儀等。
