益處
- 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
- 電源接通后快速穩(wěn)定
- 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
- 防腐陶瓷傳感器
- 的長期信號穩(wěn)定性
- 溫度補(bǔ)償
- 傳感器防污染保護(hù)
- 一鍵調(diào)零功能
- 電源范圍廣
典型應(yīng)用
- 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
- 數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設(shè)備
- 工業(yè)真空設(shè)備
- 常規(guī)高精度壓力測量
規(guī)格
類型 | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0.25 Torr | 0.1 Torr / mbar | |
---|---|---|---|---|---|---|
精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
溫度效應(yīng) | ||||||
零點(diǎn) | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
滿量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
壓力, | kPa (absolute) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
反應(yīng)時間 (2) | ms | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
讀數(shù) | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
建議的讀數(shù) | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
建議的控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
溫度 | ||||||
運(yùn)行(環(huán)境) | °C | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 |
在法蘭處烘烤 (3) | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
電源電壓 | V (dc) | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 |
CDG025D環(huán)境電容式膜片真空計