加拿大Zaber于1997年成立于溫哥華。Zaber高、低真空設(shè)備使用特殊設(shè)計(jì)的真空步進(jìn)電機(jī)，高真空電機(jī)的額定真空度為10-6Torr，低真空電機(jī)的額定真空度為10-3Torr。為了在敏感應(yīng)用中使用，zaber真空設(shè)備中選擇低釋氣和非冷凝材料。全部的高真空設(shè)備上均采用排氣式不銹鋼螺絲，所有的低真空設(shè)備均使用非排氣式不銹鋼螺絲。

Zaber真空線性平臺(tái)具有內(nèi)置控制器和編碼器（所有控制和驅(qū)動(dòng)電子元件集成在一個(gè)緊湊型封裝中的設(shè)備），避免了繁雜的電纜交錯(cuò)。而且zaber的所有產(chǎn)品允許它們使用菊花鏈?zhǔn)降姆绞姐暯?，在真空環(huán)境中，菊花鏈銜接的方式也省去了額外的饋通，幾臺(tái)Zaber設(shè)備可在只有一條饋通線的條件下運(yùn)行。因此，Zaber真空線性平臺(tái)具有價(jià)格平滑，設(shè)計(jì)緊湊，集成且易于使用的特點(diǎn)。

Zaber位移臺(tái)的特點(diǎn)是把所有控制包括控制器和驅(qū)動(dòng)器等電子元件都集成在同一個(gè)封裝中，非常方便使用。此外，變速箱和編碼器進(jìn)行了小型化封裝組合，這種輕便人性化的設(shè)計(jì)是Zaber電動(dòng)位移臺(tái)在位移臺(tái)（平移臺(tái)）領(lǐng)域，界的基礎(chǔ)。

Zaber真空線性平臺(tái)，Vacuum Devices

1) High Vacuum Device built-in Controllers，內(nèi)置控制器的高真空電動(dòng)平移臺(tái)

Zaber X-LRQ-SV2系列，高真空、高負(fù)載線性平移臺(tái)

X-LRQ-SV2系列產(chǎn)品的特點(diǎn):

?   與10^-6 Torr的真空設(shè)備兼容

?   高達(dá)205毫米/秒的速度和高達(dá)100牛的推力

?   內(nèi)置控制器，可連接其他Zaber產(chǎn)品

?   可選75,150,300,450,600mm的行程

?   100公斤的負(fù)載能力

?   通過串行端口（使用X-PIB適配器）控制連接的所有單元只需要4根線

X-LRQ-SV2是Zaber的一款高真空電控平移臺(tái)，其具有高剛度、結(jié)構(gòu)緊湊、高負(fù)載和長使用壽命等特點(diǎn)。X-LRQ-SV2系列產(chǎn)品都是獨(dú)立的單元，只需要接通標(biāo)準(zhǔn)的24 V或48 V電源就可工作。在沒有電腦的情況下，Zaber專門設(shè)計(jì)的索引旋鈕也可以提供方便的手動(dòng)控制，以實(shí)現(xiàn)多種操作

X-LRQ-DEC系列平移臺(tái)可以連接到任何計(jì)算機(jī)的RS-232端口或USB端口，并可以與任何其他Zaber產(chǎn)品連接，連接后共享一個(gè)電源的電力。還可以方便的鎖定，連接一般采用4針，M8連接器。

X-LRQ-SV2系列平移臺(tái)只有36毫米高，可以應(yīng)用于尺寸有限的場(chǎng)合。 X-LRQ-DEC的創(chuàng)新設(shè)計(jì)允許速度高達(dá)205毫米/秒，載重高達(dá)100千克。像所有Zaber的其它產(chǎn)品一樣，X-LRQ-DEC系列的設(shè)計(jì)是“即插即用”，非常容易安裝和操作。這產(chǎn)品段可以拼接成XY和XYZ系統(tǒng)。

加拿大Zaber公司X-LRQ-SV2系列平移臺(tái)的命名規(guī)則：

X-LRQ表示產(chǎn)品的系列，075表示行程，A表示Lead Screw Options，對(duì)應(yīng)運(yùn)動(dòng)速度的快慢，L表示Drive Configuration，SV2表示高真空或低真空。

X-LRQ-SV2系列具體型號(hào)：

X-LRQ075AL-SV2：   高真空, 線性平移臺(tái), 75mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速

X-LRQ075BL-SV2

X-LRQ150AL-SV2、X-LRQ150BL-SV2    X-LRQ300AL-SV2、X-LRQ300BL-SV2

X-LRQ450AL-SV2、X-LRQ450BL-SV2    X-LRQ600AL-SV2、X-LRQ600BL-SV2

Zaber X-LSM-SV2系列，高真空線性平移臺(tái)（行程：25mm,50mm,100mm,150mm,200mm）

X-LSM025A-SV2：高真空, 線性平移臺(tái), 25mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速

X-LSM025B-SV2

X-LSM050A-SV2、X-LSM050B-SV2                   X-LSM100A-SV2、X-LSM100B-SV2

X-LSM150A-SV2、X-LSM150B-SV2                   X-LSM200A-SV2、X-LSM200B-SV2

Zaber X-VSR-V2系列，高真空垂直平移臺(tái)

X-VSR20A-SV2：高真空, 電動(dòng)升降臺(tái), 20mm行程, 內(nèi)置控制器

X-VSR40A-SV2：高真空, 電動(dòng)升降臺(tái), 40mm行程, 內(nèi)置控制器

Zaber X-RSW-SV2系列，高真空選轉(zhuǎn)臺(tái)

X-RSW60A-SV2：高真空, 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái), 360°旋轉(zhuǎn), 60 mm diameter, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速

Zaber X-RSM-SV2系列，高真空、低負(fù)載旋轉(zhuǎn)臺(tái)

型號(hào)：

X-RSM40B-SV2：高真空, 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái), 內(nèi)置控制器, 40 mm stage top, medium resolution

Zaber X-GSM-SV2系列，高真空角度調(diào)整臺(tái)

X-GSM40-SV2：高真空, 電動(dòng)角度臺(tái), 內(nèi)置控制器, 40 mm centre of rotation

X-GSM60-SV2：高真空, 電動(dòng)角度臺(tái), 內(nèi)置控制器, 60 mm centre of rotation

Zaber T-NA-SV2系列，高真空線性制動(dòng)器

T-NA08A25-SV2：高真空線性致動(dòng)器, 25mm行程, RS-232

T-NA08A50-SV2：高真空線性致動(dòng)器, 50mm行程, RS-232

2) 高真空 Device built-in Stand-alone Controllers，帶獨(dú)立控制器的高真空線性平移臺(tái)

Zaber LRQ-SV2系列，高真空、高負(fù)載線性平移臺(tái)（行程：75mm,150mm,300mm,450mm,600mm）

型號(hào)：

LRQ075AL-V2T4：高真空, 線性平移臺(tái), 75mm行程, 高分辨率, 低速

LRQ075BL-V2T4

LRQ150AL-V2T4、LRQ150BL-V2T4                    LRQ300AL-V2T4、LRQ300BL-V2T4

LRQ450AL-V2T4、LRQ450BL-V2T4                    LRQ600AL-V2T4、LRQ600BL-V2T4

Zaber LSM-SV2系列，高真空線性平移臺(tái)（行程：25mm,50mm,100mm,150mm,200mm）

型號(hào)：

LSM025A-V2T4：高真空, 線性平移臺(tái), 25mm行程, 高分辨率, 低速

LSM025B-V2T4

LSM050A-V2T4、LSM050B-V2T4                      LSM100A-V2T4、LSM100B-V2T4

LSM150A-V2T4、LSM150B-V2T4                      LSM200A-V2T4、LSM200B-V2T4

Zaber LSA-V2系列，高真空，微型線性位移臺(tái)

型號(hào)：

LSA10A-V2T4：高真空, 線性平移臺(tái), 10mm行程, 高分辨率

LSA25A-V2T4：高真空, 線性平移臺(tái), 25mm行程, 高分辨率

Zaber VSR-V2系列，高真空垂直位移臺(tái)

型號(hào)：

VSR20A-V2T4：高真空, 電動(dòng)升降臺(tái), 20mm行程

VSR40A-V2T4：高真空, 電動(dòng)升降臺(tái), 40mm行程

Zaber RSW-SV2系列，高真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)

型號(hào)：

RSW60A-V2T4：高真空, 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái), 360°旋轉(zhuǎn), 60 mm diameter, 高分辨率, 低速

RSM40B-V2T4：高真空, 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái), 40 mm stage top, medium resolution

Zaber RSM-SV2系列，高真空，低負(fù)載旋轉(zhuǎn)臺(tái)

型號(hào)：

RSM40B-V2T4：高真空, 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái), 40 mm stage top, 中等分辨率

Zaber GSM-SV2系列，高真空線性致動(dòng)器

型號(hào)：

GSM40-V2T4：高真空, 電動(dòng)角度臺(tái), 40 mm centre of rotation

GSM60-V2T4：高真空, 電動(dòng)角度臺(tái), 60 mm centre of rotation

3) 低真空 Device built-in Controllers，內(nèi)置控制器的低真空線性平臺(tái)

Zaber X-LRQ-SV1系列，低真空、高負(fù)載線性平移臺(tái)（行程：75mm,150mm,300mm,450mm,

600mm）

型號(hào)：

X-LRQ075AL-SV1：低真空, 線性平移臺(tái), 75mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速

X-LRQ075BL-SV1

X-LRQ150AL-SV1、X-LRQ150BL-SV1                X-LRQ300AL-SV1、X-LRQ300BL-SV1

X-LRQ450AL-SV1、X-LRQ450BL-SV1                X-LRQ600AL-SV1、X-LRQ600BL-SV1

Zaber X-LSM-SV1系列，低真空線性平移臺(tái)（行程：25mm,50mm,100mm,150mm,200mm）

型號(hào)：

X-LSM025A-SV1：低真空, 線性平移臺(tái), 25mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速

X-LSM025B-SV1

X-LSM050A-SV1、X-LSM050B-SV1                          X-LSM100A-SV1、X-LSM100B-SV1

X-LSM150A-SV1、X-LSM150B-SV1                          X-LSM200A-SV1、X-LSM200B-SV1

Zaber X-VSR-V1系列，低真空垂直平移臺(tái)

型號(hào)：

X-VSR20A-SV1：低真空, 電動(dòng)升降臺(tái), 20mm行程, 內(nèi)置控制器

X-VSR40A-SV1：低真空, 電動(dòng)升降臺(tái), 40mm行程, 內(nèi)置控制器

Zaber X-RSW-SV1系列，低真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)

型號(hào)：

X-RSW60A-SV1：低真空, 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái), 360°旋轉(zhuǎn), 60 mm diameter, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速

Zaber X-RSM-SV1系列，低真空、低負(fù)載旋轉(zhuǎn)臺(tái)

型號(hào)：

X-RSM40B-SV1：低真空, 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái), 內(nèi)置控制器, 40 mm stage top, 中等分辨率

Zaber X-GSM-SV1系列，低真空角度調(diào)整臺(tái)

型號(hào)：

X-GSM40-SV1：低真空, 電動(dòng)角度臺(tái), 內(nèi)置控制器, 40 mm centre of rotation

X-GSM60-SV1：低真空, 電動(dòng)角度臺(tái), 內(nèi)置控制器, 60 mm centre of rotation

Zaber T-NA-SV1系列，低真空線性致動(dòng)器  Zaber T-MM-V系列，低真空反射鏡調(diào)整架

型號(hào)：

T-NA08A25-SV1：低真空線性致動(dòng)器, 25mm行程, RS-232

T-NA08A50-SV1：低真空線性致動(dòng)器, 50mm行程, RS-232

4) 低真空 Device built-in Stand-alone Controllers，帶獨(dú)立控制器的低真空線性平移臺(tái)

型號(hào)：

Zaber LRQ-V1系列，低真空、高負(fù)載線性平移臺(tái)（行程：75mm,150mm,300mm,450mm,600mm）

型號(hào)：

LRQ075AL-V1T4：低真空, 線性平移臺(tái), 75mm行程, 高分辨率, 低速

LRQ075BL-V1T4

LRQ150AL-V1T4、LRQ150BL-V1T4                    LRQ300AL-V1T4、LRQ300BL-V1T4

LRQ450AL-V1T4、LRQ450BL-V1T4                    LRQ600AL-V1T4、LRQ600BL-V1T4

Zaber LSM-V1系列，低真空線性平移臺(tái)（行程：25mm,50mm,100mm,150mm,200mm）

型號(hào)：

LSM025A-V1T4：低真空, 線性平移臺(tái), 25mm行程, 高分辨率, 低速

LSM025B-V1T4

LSM050A-V1T4、LSM050B-V1T4               LSM100A-V1T4、LSM100B-V1T4

LSM150A-V1T4、LSM150B-V1T4               LSM200A-V1T4、LSM200B-V1T4

Zaber LSA-V1系列，低真空，微型線性位移臺(tái)

型號(hào)：

LSA10A-V1T4：低真空, 線性平移臺(tái), 10mm行程, 高分辨率

LSA25A-V1T4：低真空, 線性平移臺(tái), 25mm行程, 高分辨率

Zaber VSR-V1系列，低真空垂直位移臺(tái)

型號(hào)：

VSR20A-V1T4：低真空, 電動(dòng)升降臺(tái), 20mm行程

VSR40A-V1T4：低真空, 電動(dòng)升降臺(tái), 40mm行程

Zaber RSW-V1系列，低真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)

型號(hào)：

RSW60A-V1T4：低真空, 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái), 360°旋轉(zhuǎn), 60 mm diameter, 高分辨率, 低速

Zaber RSM-V1系列，低真空，低負(fù)載旋轉(zhuǎn)臺(tái)

型號(hào)：

RSM40B-V1T4    低真空, 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái), 40 mm stage top, 中等分辨率

Zaber GSM-V1系列，低真空線性角度調(diào)整臺(tái)

型號(hào)：

GSM40-V1T4：低真空, 電動(dòng)角度臺(tái), 40 mm centre of rotation

GSM60-V1T4：低真空, 電動(dòng)角度臺(tái), 60 mm centre of rotation

5) Non-Motorized

Zaber TSB-V系列，低真空線性平臺(tái)

型號(hào)：

TSB28E-V： Translation stage, 28mm行程, 1/4"-20 thread, vacuum compatible

TSB28M-V：Translation stage, 28mm行程, M6 thread, vacuum compatible

TSB60E-V： Translation stage, 60mm行程, 1/4"-20 thread, vacuum compatible

TSB60M-V：Translation stage, 60mm行程, M6 thread, vacuum compatible