超高精度Z軸升降級(jí)臺(tái)，25nm步進(jìn)，80nm重復(fù)精度，1μm精度
Zaber的X-LDM-AEZ 系列是通過(guò)計(jì)算機(jī)軟件控制的電動(dòng)Z軸升降臺(tái)，X-LDM-AE 直線電機(jī)升降臺(tái)能在垂直應(yīng)用中提供高精度、可靠性和高速度。被動(dòng)的磁力平衡器可補(bǔ)償高達(dá) 55 N（約5.5kg） 的負(fù)載重量，防止在斷電期間發(fā)生墜落，或者不必要的運(yùn)動(dòng)。Z軸升降臺(tái)只需一個(gè)螺絲即可在幾秒鐘內(nèi)微調(diào)平衡的力。
1μm精度Z軸滑臺(tái)是集成一體的獨(dú)立單元，其他配件僅包括標(biāo)準(zhǔn)的48 V電源和電纜。可通過(guò)RS-232 端口或 USB 端口與計(jì)算機(jī)連接，并且可以與任何其他 Zaber廠家的平移臺(tái)進(jìn)行菊花鏈連接，并可共用一個(gè)電源。與 Zaber 的所有產(chǎn)品一樣，X-LDM-AEZ 系列設(shè)計(jì)為“即插即用”，并且非常易于設(shè)置和操作。 X-LDM-AEZ系列1微米Z軸電動(dòng)升降臺(tái)還包括一個(gè)數(shù)字輸入和兩個(gè)數(shù)字輸出，用于與外部系統(tǒng)連接。事件驅(qū)動(dòng)的觸發(fā)系統(tǒng)允許根據(jù) I/O、時(shí)間或運(yùn)動(dòng)刺激對(duì)設(shè)備進(jìn)行編程以實(shí)現(xiàn)獨(dú)立操作。
1μm精度Z軸滑臺(tái)可通過(guò)USB 2.0 或RS232串行端口輕松連接到電腦，并通過(guò) RS-232 向其發(fā)送命令。 Zaber的電動(dòng)Z軸升降臺(tái)提供免費(fèi)、直觀的 Windows 軟件可以輕松控制設(shè)備的速度和位置、更改設(shè)備設(shè)置和編寫自定義腳本。對(duì)于 LabVIEW 用戶，我們提供免費(fèi)的 LabVIEW 認(rèn)證驅(qū)動(dòng)程序。
Zaber公司的電動(dòng)Z軸升降臺(tái)有一個(gè)手動(dòng)的分度旋鈕，即使沒(méi)有電腦，也可以通過(guò)手動(dòng)操作旋鈕，實(shí)現(xiàn)位移臺(tái)在2個(gè)方向上以不同的速度平滑運(yùn)行。在速度模式下，轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕，滑臺(tái)開始以恒定的速度移動(dòng)，旋鈕有好幾個(gè)檔位，調(diào)整不同的檔位，速度會(huì)增快或者降低。在位移模式下，旋鈕的每一個(gè)增量都使設(shè)備移動(dòng)一個(gè)可配置的距離。按壓旋鈕1秒鐘，可以在兩種模式之間切換。無(wú)在任何操作中，你也可以通過(guò)按壓旋鈕發(fā)出停止命令。
Zaber 1μm精度Z軸升降臺(tái)特點(diǎn)：
1. 1微米精度Z軸電動(dòng)升降臺(tái)通過(guò)RS232串行端口（X-SDC 電纜）或 USB（X-USBDC 電纜）控制菊花鏈中的所有單元。
2. 可通過(guò)X-DC02電纜或X-DC06電纜串聯(lián)其他電動(dòng)平移臺(tái)設(shè)備，并可共用一個(gè)電源。
3. 一個(gè)分度旋鈕提供方便的手動(dòng)控制。通過(guò)旋鈕可以很容易地實(shí)現(xiàn)低至25nm的一致步進(jìn)。
4. 超高精度Z軸升降臺(tái)通過(guò)被動(dòng)的磁力平衡器可以補(bǔ)償高達(dá)55N的負(fù)重，平衡力可以在幾秒鐘內(nèi)精細(xì)調(diào)整，防止斷電墜落。
5. 超高精度Z軸升降臺(tái)提供免費(fèi)的軟件，可以針對(duì)任何有效載荷質(zhì)量自動(dòng)優(yōu)化伺服調(diào)整參數(shù)。 參數(shù)可以即時(shí)調(diào)整。
6. X-LDM-AEZ升降臺(tái)的設(shè)計(jì)具有的可靠性。零移動(dòng)電纜，結(jié)合非接觸式驅(qū)動(dòng)和編碼器，形成了一個(gè)異常堅(jiān)固的系統(tǒng)。
7. 1 nm 分辨率線性編碼器安裝在Z軸升降臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)精度和重復(fù)性精度。
8. 電動(dòng)Z軸升降臺(tái)超光滑交叉滾子軸承提供長(zhǎng)壽命和出色的俯仰pitch、翻滾roll和偏航yaw規(guī)格。
9. 超高精度Z軸升降臺(tái)使用側(cè)裝式的無(wú)鐵芯直線電機(jī)提供出色的動(dòng)態(tài)性能，同時(shí)通過(guò)使熱量遠(yuǎn)離位移臺(tái)的編碼器刻度來(lái)提高可重復(fù)性。
10. 超高精度Z軸升降臺(tái)包含一個(gè)數(shù)字輸入和兩個(gè)數(shù)字輸出，用于與外部系統(tǒng)連接的接口。
X-LDM-AE系列1微米精度Z軸電動(dòng)升降臺(tái)規(guī)格：
| X-LDM-AE規(guī)格 | 參數(shù) | |
| 內(nèi)置控制器 | Yes |
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| 行程 | 60 mm / 40mm | 2.362" |
| 精度（單向） | 1 µm | 0.000039" |
| 重復(fù)精度 | < 0.08 µm | < 0.000003" |
| Min增量移動(dòng) | 25 nm |
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| Maximum Acceleration | 16 m/s2 | 1.63 g |
| Max速度 | 800 mm/s | 31.496"/s |
| Min速度 | 0.61 nm/s |
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| Speed Resolution | 0.61 nm/s |
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| 編碼器類型 | Linear analog encoder |
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| Encoder Count Size | 1 nm |
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| 峰值推力 | 10 N | 2.2 lb |
| 連續(xù)推力 | 25 N | 5.6 lb |
| 通訊接口 | RS-232 |
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| 通訊協(xié)議 | Zaber ASCII (Default) |
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| Maximum Cantilever Load | 1200 N?cm | 1699.3 oz?in |
| 導(dǎo)軌類型 | Crossed-Roller Bearing |
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| Horizontal Runout | < 4 µm | < 0.000157" |
| Pitch | 0.003° | 0.052 mrad |
| Roll | 0.002° | 0.035 mrad |
| Yaw | 0.002° | 0.035 mrad |
| Counterbalance Type | Adjustable Magnetic |
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| Counterbalance Payload Range | 10-33 N | 2.2-7.4 lb |
| Maximum Current Draw | 3000 mA |
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| 電源 | 48 VDC |
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| 電源插頭 | 2-pin screw terminal |
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| 電機(jī)類型 | Moving Magnet Track Linear Motor |
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| 數(shù)據(jù)線連接 | Locking 4-pin M8 |
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| Limit or Home Sensing | Optical Index Mark |
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| Manual Control | Indexed knob with push switch |
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| Axes of Motion | 1 |
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| LED 指示燈 | Yes |
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| 安裝孔 | M6 threaded holes |
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| 工作溫度范圍 | 0 to 50 °C |
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| 真空兼容 | No |
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| 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn) | Yes |
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| 符合 CE 標(biāo)準(zhǔn) | Yes |
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| 移動(dòng)質(zhì)量 | 2.32 kg | 5.104 lbs |
| 數(shù)字輸入端口 | 1 |
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| 數(shù)字輸出端口 | 2 |
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| 重量 | 5.17 kg | 11.398 lb |
1μm精度Z軸升降臺(tái)尺寸圖：
