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熱式質(zhì)量流量計GF100系列EtherCAT

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱天津市遠(yuǎn)洋機(jī)電科技有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時間2024/2/21 15:22:07
訪問次數(shù)139

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公司介紹主營產(chǎn)品

天津市遠(yuǎn)洋機(jī)電科技有限公司是一家集研發(fā)、工程、銷售、技術(shù)服務(wù)于一體的現(xiàn)代化企業(yè)，是國內(nèi)自動化領(lǐng)域競爭力的設(shè)備供應(yīng)商。公司主要經(jīng)營歐美和日韓等發(fā)達(dá)國家的機(jī)電一體化設(shè)備、測試測量儀器、分析檢測儀器、環(huán)境與新能源工業(yè)設(shè)備及電動工具等工控自動化產(chǎn)品。代理銷售多種品牌，其中阿自倍爾azbil、費(fèi)希爾fisher、普羅名特prominent、普爾聲pulsar、霍克hawk、特菲克Trafag等國外進(jìn)口品牌在國外均有穩(wěn)定的貨源渠道，99%進(jìn)口原裝，序列號可查，價格優(yōu)勢明顯，擁有完善的技術(shù)支持和售后，還可提供自動化工程技術(shù)服務(wù)及成套解決方案。經(jīng)過長期的不懈努力，遠(yuǎn)洋機(jī)電目前已與眾多生產(chǎn)廠商達(dá)成友好合作關(guān)系并取得多個品牌的中國區(qū)代理權(quán)，并逐步積累了在工控自動化領(lǐng)域關(guān)于貨源渠道、價格、貨期、服務(wù)等各方面的巨大優(yōu)勢。通過多年的發(fā)展，在國內(nèi)我們也與多家設(shè)計院、科研院所及集成商有著良好的項目合作關(guān)系。天津市遠(yuǎn)洋機(jī)電科技有限公司擁有強(qiáng)大的關(guān)系網(wǎng) 以及完善的技術(shù)和人員配置，可以為客戶提供充沛的貨源以及優(yōu)質(zhì)、便捷、高效的服務(wù)。企業(yè)發(fā)展，人才先行，天津市遠(yuǎn)洋機(jī)電科技有限公司建立了一支業(yè)務(wù)精通，責(zé)任心強(qiáng)的骨干隊伍我們秉承“質(zhì)量為先，信譽(yù)為重，服務(wù)為優(yōu)”的宗旨以“、合理的價格，完善的技術(shù)，提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品” 的服務(wù)為指導(dǎo)方針。憑借過硬的產(chǎn)品質(zhì)量及專業(yè)的選型指導(dǎo)服務(wù)，贏得了廣大客戶的認(rèn)同，呈現(xiàn)出高速發(fā)展的勢頭。公司的發(fā)展離不開客戶的信賴與支持，我們時刻以做大、做強(qiáng)的中國商貿(mào)事業(yè)為己任，嚴(yán)格要求自己。期待成為客戶信賴的伙伴，在關(guān)鍵的時候為客戶提供優(yōu)質(zhì)全面的解決方案及完善的產(chǎn)品服務(wù)，與客戶誠合作，和諧共贏。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。

熱式質(zhì)量流量計GF100系列EtherCAT 產(chǎn)品信息

熱式質(zhì)量流量控制器GF100 系列EtherCAT

純度氣路。超高精確，無污染的控制。

現(xiàn)今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設(shè)計。

關(guān)鍵應(yīng)用

硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP
化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD
精密的表面涂層
分析系統(tǒng)
真空處理應(yīng)用

選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

速、準(zhǔn)的MFC

加強(qiáng)了擁有EtherCAT®的速度

型號 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

針對半導(dǎo)體工藝的性能

嵌入式診斷利用實(shí)時以太網(wǎng)數(shù)據(jù)采集能力
超穩(wěn)定流量傳感器（每年≤設(shè)定值0.15%的漂移）使低流量更精準(zhǔn)，同時減少維修的需求
改進(jìn)的閥門關(guān)閉（≤bin范圍的0.15%）減少閥門內(nèi)漏，從而改善片晶圓效應(yīng)
新增強(qiáng)的抗壓力瞬時波動在持續(xù)流體傳輸中降低了串?dāng)_流敏感度

特點(diǎn)

每年<滿量程的±0.15%的長期零點(diǎn)穩(wěn)定性
響應(yīng)穩(wěn)定時間: 300毫秒 - <1秒
流量可達(dá)到300 slpm
全金屬密封的流體通路：可選5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
抗腐蝕的哈氏合金升溫傳感器在溫度升高時改善了測量的重復(fù)性
MultiFloTM 氣體和量程的可編程性—一臺表，幾千種氣體和量程的組合，無需把MFC從管路上拆除，也不會影響精度
方便的用戶顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口可幫助儀表安裝，監(jiān)測和故障排查
GF120 安全傳輸系統(tǒng)(SDS®)是布魯克斯的低壓降質(zhì)量流量控制計，用于離子注入和刻蝕工藝的負(fù)壓安全傳輸系統(tǒng)的氣體傳輸