掃描電子顯微鏡 S-3700N的開發(fā)正是*考慮了上述廣泛的多元化應(yīng)用的需求，此款產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)配置包含一個二次電子檢測器，一個五段分割背散射電子(BSE)探測器和可變壓力(VP)模式。 這就使得絕大部分的樣品觀測，可以去除過去傳統(tǒng)的掃描電鏡必須的金屬噴涂，可在自然狀態(tài)下直接觀察含水樣品。
掃描電子顯微鏡(SEM)現(xiàn)今已經(jīng)延伸到廣大企業(yè)單位，不僅在學(xué)術(shù)研究領(lǐng)域，各行各業(yè)均有廣泛應(yīng)用，與此趨勢相對應(yīng)，用戶需要觀測和分析的樣品種類也有所擴(kuò)大。S-3700N的開發(fā)正是*考慮了上述廣泛的多元化應(yīng)用的需求，此款產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)配置包含一個二次電子檢測器，一個五段分割背散射電子(BSE)探測器和可變壓力(VP)模式。
這就使得絕大部分的樣品觀測，可以去除過去傳統(tǒng)的掃描電鏡必須的金屬噴涂，可在自然狀態(tài)下直接觀察含水樣品。
掃描電子顯微鏡 S-3700N有一個巨大的樣品室，可容納直徑達(dá)300 mm和高度達(dá)110 mm的樣品。樣品室設(shè)置有多種配件端口，可以適應(yīng)電鏡在當(dāng)今極其廣泛的應(yīng)用需求，這些配件包EDX，WDX，EBSD，樣品室監(jiān)視裝置，冷臺等。此款產(chǎn)品的多功能性以及靈活的系統(tǒng)配置，能夠很好地滿足您現(xiàn)今以及未來的各項(xiàng)需求。
特色
- 特大型的樣品室可裝載大直徑達(dá)300 mm的樣品，還可同時安裝EDX/WDX/EBSD等配件。其可載樣品高度可達(dá)110 mm。
- 5軸馬達(dá)驅(qū)動優(yōu)中心傾斜、旋轉(zhuǎn)、圖像導(dǎo)航系統(tǒng)、樣品臺追蹤、軌跡存儲與中心復(fù)位等樣品臺的馬達(dá)控制功能。
- S-4800，SU-70及S-3400N均具有用戶友好的GUI設(shè)計(jì)，這使得操作者經(jīng)過簡單培訓(xùn)即可操作。
- 顯示系統(tǒng)有全屏顯示，無閃爍，高像素和實(shí)時圖像顯示等優(yōu)異的性能，它還可以實(shí)時信號混合并同時顯示兩個不同的檢測器觀測到的互不相同的樣品信息。
- 可變壓模式不需要金屬噴涂，可以直接觀察不導(dǎo)電樣品。
- 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器可以在快速掃描模式下運(yùn)行，這使得尋找大尺寸樣品中感興趣的區(qū)域更為簡單和便利。
- 標(biāo)準(zhǔn)配備渦輪分子泵(TMP)，其清潔和干燥的真空條件大限度地減少了樣品污染。區(qū)別于傳統(tǒng)的擴(kuò)散泵掃描電子顯微鏡，此款產(chǎn)品不需較大的加熱功率或循環(huán)水箱，從而使得它成為一款節(jié)能，生態(tài)環(huán)保的掃描電子顯微鏡。
規(guī)格參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 描述 | |
|---|---|---|
| 分辨率 | 二次電子分辨率 | 30 kV時，3.0 nm(高真空模式) |
| 3 kV時，10 nm(高真空模式) | ||
| 背散射電子分辨率 | 30 kV時，4.0 nm(低真空模式) | |
| 放大倍率 | ×5 - ×300,000 | |
| 加速電壓 | 0.3 - 30 kV | |
| 低真空范圍 | 6 – 270 Pa 圖形菜單 | |
| 圖像移動 | ±50 µm (WD= 10 mm) | |
| 大樣品尺寸 | Φ300 mm | |
| 樣品臺 | X | 150 mm |
| Y | 110 mm | |
| Z | 5 - 65 mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 觀測區(qū)域 | Φ203 mm(可旋轉(zhuǎn)) | |
| 大高度 | 110 mm (WD= 10 mm) | |
| 樣品臺控制 | 計(jì)算機(jī)控制5軸馬達(dá)驅(qū)動優(yōu)中心 | |
| 電子光學(xué) | 電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 可移動式4孔物鏡光闌 | |
| 槍偏壓 | 帶可控4偏壓 | |
| 檢測器 | 埃弗哈特 索恩利二次電子檢測器 | |
| 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子探測器，五分割 | ||
| 分析位置 | WD = 10 mm, 取出角 = 35° | |
| 顯示器 | 控制模式 | 操縱桿，鍵盤和旋鈕 |
| 顯示器 | 19.1英寸液晶平面顯示器(如有更改，恕不另行通知) | |
| 自動合軸 | 自動設(shè)定束流，自動合軸 | |
| 自動圖像調(diào)整 | 自動聚焦，自動消象散/聚焦，自動調(diào)整亮度和對比度 | |
| 存儲圖像精度 | 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素 | |
| 2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素 | ||
| 圖像文件格式 | BMP, TIFF, JPEG | |
| 圖像顯示模式 | 全屏顯示：1,280 × 960 像素 | |
| 小屏顯示：640 × 480 像素 | ||
| 雙屏顯示：640 × 480 像素 × 2 | ||
| 信號混合模式 | ||
| 真空系統(tǒng) | 操作 | 全自動程序 |
| 渦輪分子泵 | 210L/sec. × 1 | |
| 機(jī)械泵 | 135 L/min.(162 L/min. 60Hz) × 1 | |
| 安全措施 | 斷電保護(hù)，漏電保護(hù) | |
| 輔助功能 | 光柵旋轉(zhuǎn)，動態(tài)消像散 | |
| 動態(tài)聚焦/傾斜補(bǔ)償功能 | ||
| 自由排版打印功能，字母/數(shù)字功能 | ||
| 三維動畫維修指南 | ||
| 導(dǎo)航，測量方便，傾斜畫面 | ||
