用于故障分析與敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡

在高真空環(huán)境進行納米測量可顯著提高數(shù)據(jù)的靈敏度和分辨率，并增強材料分析能力。 因為高真空掃描環(huán)境相比氮氣N2或干燥環(huán)境條件更具有精確性和穩(wěn)定的重復性的數(shù)據(jù)，用戶可以在半導體材料和故障分析等應用中測量各種摻雜濃度和反饋信號的不同響應。

在高真空條件下執(zhí)行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結果。因此，利用NX-Hivac進行的高真空掃描擴散電阻顯微術測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準確性的明智選擇。

Park Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自動控制

Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制真空條件抽氣和排氣過程來實現(xiàn)高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。

高級自動化特點

NX-Hivac具有大量功能從而能夠減少用戶輸入。換言之，您可以更快速地掃描，提高實驗室產量。

配備電控載物臺的StepScan 自動化掃描

StepScan允許用戶能夠對器件進行編程從實現(xiàn)而快速便捷地多區(qū)域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動電動平臺至用戶定義坐標區(qū)域、進針及重復掃描。如此可極大地提高生產率，減少用戶輸入。

電動激光對準

Park電動激光對準使用戶無需輸入即可無縫銜接自動化測量例程。憑借著我們的預準直懸臂架，在更換探針時激光已對準懸臂。只需要調整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點，達到位置。

提高精度和生產率

NX-Hivac即是精準的高性能原子力顯微鏡，同時也是用于故障分析的方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產效率，并確保取得靠譜的結果。

閉環(huán)XY和Z軸掃描儀

利用兩個獨立的閉環(huán)XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個掃描范圍內的離面運動距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無需進行軟件后期處理即可獲得精準的二維和三位測量。

低噪聲XYZ軸位置傳感器

NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業(yè)的低噪聲Z軸探測器功能，可準確測量樣本形貌，同時低噪聲XY軸閉環(huán)掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。

24位數(shù)字電子控制器

NX-Hivac的一大特點是NX系列電子控制器可實現(xiàn)時間浪費最小化、精度。我們的控制器為全數(shù)字、24位高速器件，用戶能夠利用其執(zhí)行一系列掃描，包括我們的真正非接觸（True Non-Contact）模式。控制器具有低噪聲設計和高速處理部件，是精密電壓和電流測量及納米級成像的之選。嵌入式電子產品同時具有數(shù)字信號處理特點，用戶可輕松地分析測量值和成像。

技術指標