TS150-AIT & TS200-THZ
TS150-AIT和TS200-THZ探針系統(tǒng)專為新興的THz應(yīng)用而設(shè)計，例如高速5G通信，衛(wèi)星，非侵入性光譜，醫(yī)療保健設(shè)備以及短距離汽車雷達等，其方法是在同一探針臺上增加有源阻抗調(diào)諧器集成。這兩個系統(tǒng)是業(yè)界明確設(shè)計的150 mm和200 mm探針系統(tǒng)，可結(jié)合毫米波，太赫茲（THz）和自動阻抗調(diào)諧器應(yīng)用的要求，以的測量方向性提供準(zhǔn)確的測試。
- 任意可達1.5THz的帶寬、差分或?qū)拵U頻器和/或自動阻抗調(diào)諧器的無縫集成；
- 擴展器/調(diào)諧器集成的新穎設(shè)計，可實現(xiàn)的測量動態(tài)；
- 的機械穩(wěn)定性和可重復(fù)性，結(jié)合方便和安全的操作。
TS150-AIT & TS200-THZ細節(jié)優(yōu)勢
MPI TS200-THZ手動探針系統(tǒng)具有的功能。這些高度可重復(fù)性（1µm）的壓板提升設(shè)計，具有用于安全，接觸，分離（300µm）和加載（3mm）的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時提供直觀的控制，準(zhǔn)確的觸點定位和安全設(shè)置。 附加的Probe Hover Control™具有懸停高度（50、100或150 µm），可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。
特點與優(yōu)勢
氣浮式移動系統(tǒng)
MPI的氣墊載物臺設(shè)計，具有簡單的單手定標(biāo)器控制，為快速的XY導(dǎo)航和晶圓裝載提供了的操作便利性，同時搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯，不影響精確定位能力。
卡盤Z調(diào)整
TS150-TH有10mm的精細卡盤Z調(diào)整，旨在靈活地集成不同的擴頻器，例如Rohde＆Schwarz，VDI或OML。對于在同一探頭系統(tǒng)上使用多個彎曲解決方案的設(shè)置非常有利，可以輕松快速地進行設(shè)置。
微型定位器
專用的極剛性探針臺板設(shè)計可容納兩個東西方向的粗體——東西向配置的下行MP80大面積微選址器。通過將兩個南北“電橋”作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置。
MP80-DX
市場上另一個MPI開拓性解決方案——的MP80-DX，具有低至1µm的簡單、精確的精確度，是精確且經(jīng)濟高效的多線TRL的理想選擇，即多行TRL——毫米波和次太赫茲范圍內(nèi)的RF校準(zhǔn)方法。有關(guān)更多詳細信息，請訪問 MPI QAlibria® 軟件。
多種卡盤選項
TS200-THZ提供多種卡盤選件，以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求，例如MPI：帶BNC連接器的標(biāo)準(zhǔn)RF卡盤； 專用mmW卡盤，內(nèi)置具有高導(dǎo)熱率（> 180 W / Km）的特殊陶瓷；甚至 ERS AirCool射頻卡盤（從20°C到200°C或更高），帶有集成的鍍金頂面和小的真空孔。 所有卡盤都有兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤，用于精確的RF校準(zhǔn)，尤其是在40 GHz以上的范圍內(nèi)。
多種光學(xué)選項
提供專用的MPI光學(xué)元件 ，可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光學(xué)變焦高達12倍，工作距離超過45毫米。由于集成擴頻器固有的空間限制，要求與DUT的距離最短，因此這種顯微鏡的體積小，非常適合RF和mmW應(yīng)用。
擴頻器集成
TS200-THZ集成了全新的擴頻器集成設(shè)計。為了地減少到DUT的距離并提供的測量方向性，MPI引入了一種新穎的概念，將擴展器懸停在整個200mm晶圓上。新型TS200-THZ探針臺的附加關(guān)鍵功能是輕松，便捷和快速地重新配置。
