橡膠密封熱式質(zhì)量流量計5850E 和 i 系列
經(jīng)驗證具有靈活性,能夠滿足各種質(zhì)量流量測量需求。
布魯克斯儀器的橡膠密封質(zhì)量流量計和控制器將工藝所需的準確性、可靠性和可重復性相結(jié)合,是一種能夠為您提供高精度性能和長期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟有效的測量儀器。結(jié)果:使運營投資價值和回報。
設備具有長期穩(wěn)定性,可確保完成生產(chǎn)目標
型號 5850E, i / 5851E, i / 5860E, i / 5861E, i / 5853E, i / 5863E, i
每條產(chǎn)品線都有主力設備型號 — 而我們的 5850E 和 5850i 系列熱式質(zhì)量流量控制器符合主力設備標準。該產(chǎn)品數(shù)十年來廣泛用于世界各地的各種應用,其采用的超穩(wěn)定流量傳感器,能夠?qū)崿F(xiàn)可靠、準確、可重復的測量和控制以滿足當今工業(yè)制造工藝苛刻的需求。
關鍵應用
化學品與石化分析和試驗過程
實驗室和分析系統(tǒng)
生命科學實驗室
薄膜氣相沉積
熱處理、切割等其他熱過程
真空應用
選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設備。
特點
長期零點穩(wěn)定性,每年變動小于滿量程的 0.2%
能夠根據(jù)命令變化迅速進行流量響應并且過沖/下沖可忽略不計
流量范圍寬 - 從3 sccm 一直到1000 slpm
耐高壓等級 - 高達 1,500 psi
可拆卸式流量傳感器
不受安裝角度影響
能和其他質(zhì)量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容
電驅(qū)動閥超調(diào)
耐化學腐蝕閥門
優(yōu)勢
在廣泛的工藝和應用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認可的長期穩(wěn)定性和準確性
由于性能可靠,因此投資回報率出眾
采用可拆卸式流量傳感器,因此無需對氣壓進行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié)
由于模擬量僅為輸入/輸出,因此易于安裝和保養(yǎng)
應用
化學品和石化催化劑研究和試驗工藝
實驗室和分析系統(tǒng)
生命科學實驗室
太陽能
型號
規(guī)格
性能
等級
機械
診斷
電氣
承諾