英國Quorum/Emitech高真空蒸鍍儀K950X在使用碳棒蒸鍍時可給出連續(xù)的碳膜，并且使用渦輪分子泵時無污染。它可用于TEM和X-Ray分析中的覆膜，以及SEM中的導(dǎo)電涂層。
在厚度為2nm (20埃)或更厚時膜是連續(xù)的。通常的沉積形式是加熱碳或石墨棒。棒具有特定的形狀以達(dá)到電流密度，使得它具有足夠的溫度來引起蒸發(fā)?；谶@點，出現(xiàn)了細(xì)小的、亮的、熱的碳顆粒。此系統(tǒng)需要用擴散泵或渦輪分子泵達(dá)到1x10-4 mbar或更高的真空度
渦輪分子泵在K950X中作為標(biāo)準(zhǔn)配置，此泵作為機械真空泵的后級泵，真空為全自動控制，真空度優(yōu)于1x10-5 mbar。可進(jìn)行預(yù)熱及除氣控制，同時用瞬時蒸發(fā)開關(guān)使脈沖蒸發(fā)在用戶控制下進(jìn)行。
標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)樣品臺可進(jìn)行傾斜調(diào)節(jié)，容易適應(yīng)各種樣品座?？蛇x的樣品臺具特殊的凹槽，可放置標(biāo)準(zhǔn)的載玻片，這在“石棉分析”需要鍍碳層時尤為有利。
碳棒頭在儀器中作為標(biāo)準(zhǔn)件。這是一個“快速釋放頭”，使用戶在選擇金屬蒸發(fā)附件、碳絲及光闌清洗頭時可方便地更換。放氣系統(tǒng)具有互鎖裝置，避免樣品受到干擾。渦輪分子泵可安裝在任何軸上，并且可安全地“關(guān)閉”直接通大氣。
主要特點
(1)全自動抽氣系統(tǒng)
(2) 旋轉(zhuǎn)樣品臺
(3) 菜單驅(qū)動式“用戶”鍵盤輸入
(4) 快速釋放頭方便選擇不同的頭
(5) 約束的排氣控制
(6) 渦輪分子泵抽真空
優(yōu)點
(1) 容易操作
(2) 均勻的樣品涂層
(3) 方便多用戶操作
(4) 可用于蒸碳及蒸鍍金屬
(5) 在排氣過程中可防止樣品損壞
(6) 碳棒或碳絲蒸發(fā)
英國Quorum/Emitech高真空蒸鍍儀K950X技術(shù)參數(shù)
儀器尺寸：450mm W x 350mm D x 175mm H (Overall height with Work Chamber 750mm) 重量：28Kg
工作腔室：硼硅酸鹽玻璃165mm Dia x 125mm H
安全鐘罩：聚碳酸酯
鋁機座：110mm Dia x 115mm H
碳 源：直徑3.2mm碳棒
旋轉(zhuǎn)樣品臺：直徑為60 mm，傾斜0-90o
到電極距離為110mm 到 130mm
真空計范圍：ATM - 1x10-5 mbar
操作真空：1x10-2 to 1x10-5 mbar
安培計：0-50 Amps
低電壓選擇：0-5V-15V-25V
除氣電流：0-25 Amps
渦輪分子泵：50L/Second
Services -Argon - Nominal 4psi. Rotary Backing Pump -Two Stage Vacuum Pump No. 2, 35L/Min complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter. 2m3/Hr
電源：230V 50Hz (包括泵電流8 安培)；115V 60Hz(包括泵電流16 安培)
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