- 全自動(dòng)流程,薄膜分析更容易
- 高性能系統(tǒng)
- 光斑可視化,微光斑可至25x60 µm
- 功能齊全和靈活
- 智能診斷
Auto SE是一種新型薄膜測(cè)量工具。僅需簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鈕,幾秒鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成樣品測(cè)量和分析,并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告,包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過(guò)率。
Auto SE全自動(dòng)化設(shè)計(jì)、一鍵式操作,功能齊全。配備自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)進(jìn)行成像分析,自動(dòng)切換微光斑,多種附件可選,以滿足不同的應(yīng)用需求。
Auto SE借助完整的操作向?qū)В?/span>自動(dòng)檢測(cè)并診斷問(wèn)題,對(duì)故障進(jìn)行處理,儀器維護(hù)簡(jiǎn)單
Auto SE是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。
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