真空紫外光譜儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介
VTM300是一款設(shè)計(jì)*的真空紫外光譜儀,小角度入射光路中采用超環(huán)面光柵,在整個(gè)光譜范圍內(nèi)保持低的像差和高光通量,可二維成像。VTM300運(yùn)用靈活,只要更換出射端的狹縫和法蘭,就可以分別實(shí)現(xiàn)單色儀和攝譜儀功能。
技術(shù)特點(diǎn)
HJY的超環(huán)面光柵技術(shù),優(yōu)異的消像差能力。
高光通量
二位CCD成像
單光柵實(shí)現(xiàn)60-300nm寬光譜
只需更換狹縫和法蘭,即可分別實(shí)現(xiàn)單色儀和攝譜儀功能,一機(jī)兩用。
典型應(yīng)用
紫外反射/透射
紫外激光器
激光高次諧波
等離子體光譜
技術(shù)指標(biāo)
光學(xué)設(shè)計(jì) | HJY超環(huán)面消像差光柵 |
焦長(zhǎng) | 300 mm |
孔徑 | f/7.5 |
分辨率 | 優(yōu)于0.4nm |
波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng) | 步進(jìn)電機(jī) |
高真空 | 10-6 mbar |
真空泵法蘭 | DN63 LF |
狹縫 | 測(cè)微狹縫 |
陣列探測(cè)器法蘭 | DN100CF/ICF152 |
可選項(xiàng) | |
狹縫 | 自動(dòng)或固定 |
58.4nm氦譜線
194.2nm汞燈譜線
附件
前鏡腔,配備兩塊超環(huán)面鏡,實(shí)現(xiàn)光源和單色儀之間的光學(xué)匹配
后鏡腔,配備兩塊超環(huán)面鏡,實(shí)現(xiàn)單色儀和樣品室之間的光學(xué)匹配
樣品室,可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品
偏振插片
制冷機(jī),zui低至4K
真空泵