型號(hào) | SURFCOM 480B | |
測(cè)量范圍 | X軸(橫向) | 100mm |
Y軸(縱向) | 800mm(測(cè)量范圍/分辯率:800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm) | |
直線度精度 | (0.05+1.5L/1000) mm =測(cè)量長(zhǎng)度(mm) | |
分析項(xiàng)目 | 使用規(guī)格 | JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO規(guī)格 |
參數(shù) | Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq. TLL T A. lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR | |
評(píng)價(jià)曲線 | 剖面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動(dòng)圓波紋度曲線、滾動(dòng)圓中心線波紋度曲線、DIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線(Motif)、波紋度中心曲線(Motif)、包絡(luò)波紋度曲線 | |
表面特性圖表 | 負(fù)荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分布曲線 | |
傾斜補(bǔ)償方式 | 直線補(bǔ)償、R面補(bǔ)償、前半補(bǔ)償、后半補(bǔ)償、兩端補(bǔ)償、花鍵補(bǔ)償、(直線、R面、兩端補(bǔ)償可以在任意范圍內(nèi)) | |
倍率 | 縱倍率(Z軸) | 50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自動(dòng) |
橫倍(X軸) | 1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自動(dòng) | |
濾波器的種類 | 標(biāo)準(zhǔn)型濾波器2RC、相位補(bǔ)償型濾波器2RC、相位補(bǔ)償型濾波器(高斯濾波器) | |
測(cè)量速度 | 0.03、0.06、0.1.5、0.30 、0.60、 1.5 、3、 6mm/s(4速) | |
傳感器 | 前端半徑2mm、材質(zhì)為金剛石、測(cè)量力為0.75mN | |
的功能 | 測(cè)量AI | 裝載有測(cè)量AI功能、即使初學(xué)者也可容易掌握 |
段差分析功能 | 測(cè)量半導(dǎo)體零部件的膜厚及面積 | |
PC卡 | 輸出文本文件、將數(shù)據(jù)傳送至電腦 | |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 標(biāo)準(zhǔn)片E-MC-S24B、記錄紙(E-CH-S21A)、觸摸筆(E-MA-S54A)操作說(shuō)明書 | |
各要素 | 電源 | AC100~240V±10%、50/60Hz、90VA |
設(shè)置尺寸 | 1000(W)*800(D)*750(H)mm | |
質(zhì)量 | 105Kg |