玻璃真空吸盤(pán)，可定制玻璃內(nèi)部管道

圖1 晶圓真空吸盤(pán)

玻璃真空吸盤(pán)（Vacuum Chunk）特別適用于晶元半導(dǎo)體行業(yè)，其又被稱為晶元吸盤(pán)、零膨脹玻璃真空吸盤(pán)、定制真空吸盤(pán)或晶元真空吸盤(pán)。這種新型晶元吸盤(pán)主要應(yīng)用在晶元設(shè)備上，通過(guò)在零膨脹玻璃吸盤(pán)內(nèi)部挖出通孔，當(dāng)吸盤(pán)通孔內(nèi)的空氣被真空泵抽走時(shí)，內(nèi)部形成真空狀態(tài)，吸盤(pán)唇和被吸附的物體表面之間的壓強(qiáng)變大，從而產(chǎn)生吸力，即利用內(nèi)外壓強(qiáng)差吸附在物體表面上。

該定制真空吸盤(pán)使用零膨脹玻璃，這種材質(zhì)是一種具備特殊性能的玻璃，高穩(wěn)定性、高尺寸穩(wěn)定性、低導(dǎo)熱率以及高耐腐蝕性的是它的主要優(yōu)勢(shì)，但它同時(shí)會(huì)比傳統(tǒng)玻璃的造價(jià)高昂，工藝水平的要求則要更為。

我們具有強(qiáng)大的光學(xué)加工能力，能提供定制玻璃真空吸盤(pán)，定制晶元真空吸盤(pán)或晶圓真空吸盤(pán)，包括玻璃的形狀尺寸、吸嘴的位置、內(nèi)部管道的走向，同事具備批量化的加工能力，滿足用戶的各類應(yīng)用需求。