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廣電計量檢測集團股份有限公司

半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套

參考價 1000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱山東成東節(jié)能科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號VC-DJR-150
  • 所  在  地長沙市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2024/2/26 19:18:58
  • 訪問次數(shù)280
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山東成東節(jié)能科技有限公司是專注于提供節(jié)能診斷、保溫設(shè)計、產(chǎn)品制作、安裝維護等服務(wù)的節(jié)能綜合解決方案的科技創(chuàng)新企業(yè)。公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于食品、化工、醫(yī)藥、電力、機械工程、車輛等行業(yè),提供-200-1800度高低溫系統(tǒng)的整體解決方案。
   山東成東節(jié)能科技有限公司的核心產(chǎn)品包含五大系列,上百品種:
1可拆卸式保溫套(衣):閥門保溫套、排氣管隔熱套、注塑機保溫套、反應(yīng)釜溫套、板式換熱器保溫套等產(chǎn)品。
2:電加熱保溫套:工業(yè)電加熱柔性保溫套。
3:汽輪機可拆卸式保溫:汽輪機可拆卸式保溫衣。
4:柔性防火罩:柔性、剛性防火罩。

5:節(jié)能解決方案:節(jié)能合同管理。

  山東成東節(jié)能科技有限公司擁有*的生產(chǎn)裝備和*的管理人才,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,生產(chǎn)效力高,銷售網(wǎng)絡(luò)遍及全國,售后服務(wù)及時完善;產(chǎn)品設(shè)計合理、工藝*、快捷拆裝、技術(shù)處于行業(yè)*水平。在食品、化工、醫(yī)藥、電力、機械工程、車輛等行業(yè)所屬企業(yè)中得到廣泛的推廣應(yīng)用,深受廣大客戶的信賴和好評。

 

可拆卸保溫套,可拆卸保溫衣,高溫隔熱板,機器人防護服
材質(zhì) 鎳鉻 導(dǎo)熱系數(shù)(常溫) 0.03
等級 A 低溫彎折≤ 90
斷裂伸長率 800N/cm 加工定制
抗彎強度 優(yōu) 適用領(lǐng)域 半導(dǎo)體、電子
半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套:DIFF、ETCH、CVD、EPI部門,Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。
半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套 產(chǎn)品信息


半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套的前因:

由于半導(dǎo)體生產(chǎn)常常需要使用各種化學(xué)氣體,這些氣體也會隨著工藝的過程,由真空泵從反應(yīng)腔體抽出,形成各種有毒有害的工藝尾氣,這些氣體如直接排到大氣中就會形成大氣污染。所以半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家都需要對工藝設(shè)備尾氣進行有效的處理,以減少對環(huán)境的污染。因此,在半導(dǎo)體制造機臺中,尾氣處理裝置是半導(dǎo)體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過程中,氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6O2、HeBCl3等,經(jīng)過在真空反應(yīng)室內(nèi)的一系列反應(yīng)后,氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClxMoClx、MoFxSiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結(jié)晶,因此尾氣處理過程中結(jié)晶體會附著在排氣管的管壁上,極易對排氣管進行堵塞,同時造成排氣管的損傷。此過程會造成尾氣處理不CD,同時提高生產(chǎn)成本。

需要加熱馬甲的部門:

DIFF、ETCH、CVD、EPI部門,Pumping linePump exhaust管路需加裝加熱夾套。

加熱馬甲作用:

通過升高管路工作溫度,減少管內(nèi)介質(zhì)結(jié)晶,避免管路堵塞,減少PM周期,提高產(chǎn)能。

加熱馬甲溫度要求:

PVD150°、170°(也有180°)

ETCH80°-120°

半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套




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