安全至上
高壓線(xiàn)多重防護(hù);外殼良好接地;真空互鎖;系統(tǒng)
自動(dòng)防護(hù)性切斷濺射;實(shí)體按鍵,安全
注重用戶(hù)體驗(yàn)
5英寸液晶屏,簡(jiǎn)潔明了;
可多設(shè)置兩個(gè)參數(shù),即可開(kāi)始工作;
系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整真空度,無(wú)需人工調(diào)節(jié)針閥;
自動(dòng)放氣;樣品臺(tái)高度可調(diào)節(jié)
信息量大
濺射過(guò)程中真空度和濺射電流以曲線(xiàn)方式實(shí)時(shí)顯示,簡(jiǎn)單直觀;
靶材使用時(shí)間,儀器使用時(shí)間系統(tǒng)自動(dòng)記錄,直觀了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)
快速上手
設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)В诓僮魅藛T更換時(shí),無(wú)需培訓(xùn),即可快速熟練操作設(shè)備
輸入電壓:AC220V±10%,50Hz
工作電壓:DC2400V
大功率:(主機(jī)與機(jī)械泵) 500W
可選靶材:金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬
真空泵:兩級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s
真空腔:φ128×130mm
樣品杯:φ90×1 / φ25×4 / φ15×6
整機(jī)尺寸:(長(zhǎng)×寬×高) 424×271×255(mm)
重量(主機(jī)): 11 kg
工作環(huán)境:溫度 5~40℃,濕度<60%
存儲(chǔ)環(huán)境:溫度-10~60℃,濕度<80%
工作氣體:Air / Ar
保護(hù)功能:過(guò)流、真空雙保護(hù)