易于使用
Sensofar 致力于為客戶提供令人難以置信的體驗(yàn)。隨著第五代 S neox 系統(tǒng)的誕生,我們的目標(biāo)是使其易于使用、直觀且更快速。即使是初學(xué)者,只需點(diǎn)擊一下,即可操作測(cè)量。模塊化設(shè)計(jì)的軟件,使系統(tǒng)適應(yīng)用戶多樣的需求。
的速度
通過采用新的智能和的算法以及新型相機(jī),達(dá)到的速度。數(shù)據(jù)采集速度達(dá)180fps。標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量采集速度比以前快5倍。S neox 成為市場(chǎng)上速度的表面測(cè)量系統(tǒng)。
質(zhì)量管理
豐富的自動(dòng)化模塊,方便進(jìn)行質(zhì)量管控。從操作員訪問權(quán)限控制、測(cè)量程序存儲(chǔ)、兼容性到條形碼/QR 讀取器,以及我們專有 SensoPRO 軟件中的定制插件,都可以自動(dòng)生成分析報(bào)告。我們的優(yōu)化解決方案能夠在 QC 環(huán)境中工作,其具有靈活性和易于使用的界面,可編程并24小時(shí)工作。
研發(fā)
Sensofar 的四合一方法—只需點(diǎn)擊一 次, 系統(tǒng)即可切換到適合當(dāng)前測(cè)量任務(wù)的技術(shù)。在 S neox 傳感器頭中配置 三種測(cè)量技術(shù)—共聚焦、干涉、Ai 多焦 面疊加和膜厚測(cè)量這些都為系統(tǒng)的多功 能性做出了重要貢獻(xiàn),并有助于限度地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點(diǎn)。S neox 是 所有實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的理想之選,適用范圍廣泛。
表面紋理特征
SO 25178標(biāo)準(zhǔn)是國際標(biāo)準(zhǔn)化組織面向3D面層表面紋理分析的相關(guān)國際標(biāo)準(zhǔn)。這是 3D 表面紋理規(guī)范和測(cè)量中,國際標(biāo)準(zhǔn),特別是定義了 3D 表面紋理參數(shù)及相關(guān)規(guī)范運(yùn)算符。根據(jù) ISO25178 和 ISO4287 計(jì)算表面參數(shù)。計(jì)算高度、空間、混合、功能和體積參數(shù)。自 2009 年以來,Sensofar一直是國際標(biāo)準(zhǔn)化組織 (ISO/TC213 WG16) 技術(shù)委員會(huì)的成員。
Ai 多焦面疊加
主動(dòng)照明多焦面疊加是一種為了測(cè)量大粗糙表面形狀而開發(fā)的光學(xué)技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測(cè)量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識(shí),專門設(shè)計(jì)用于補(bǔ)充低放大率下的測(cè)量。通過使用主動(dòng)照明,即使在光學(xué)平滑的表面上也能獲得更可靠的測(cè)量數(shù)據(jù),這一點(diǎn)已經(jīng)得到了改進(jìn)。該技術(shù)的亮點(diǎn)包括高斜率表(高達(dá) 86o),的速度(3 mm/s)和較大的垂直范圍測(cè)量。
共聚焦共聚焦輪廓儀的開發(fā)目的是,測(cè)量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供的橫向分辨率,可達(dá) 0.15μm 水平分辨率,空間采樣可減少到 0.01μm,這是關(guān)鍵尺寸測(cè)量的理想選擇。高達(dá)NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物鏡可用于測(cè)量局部斜率超過 70°的光滑表面。對(duì)于粗糙表面,可允許 86°。的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復(fù)性。
干涉PSI 相移干涉法 可以用于測(cè)量亞埃分辨率的高度光滑和連續(xù)表面的高度??梢允褂脴O低的放大率 (2.5X) 測(cè)量具有相同高度分辨率的大視場(chǎng)。
CSI 相干掃描干涉法使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度,達(dá)到 1 nm 的高度分辨率。
薄膜
薄膜測(cè)量技術(shù)快速、準(zhǔn)確、無損地測(cè)量光學(xué)透明層的厚度,且不需要樣品制備。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜,并與軟件計(jì)算的模擬光譜進(jìn)行比較,對(duì)層厚進(jìn)行修改,直到找到擬合??梢栽诓坏揭幻腌姷臅r(shí)間內(nèi)測(cè)量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。測(cè)量光斑取決于物鏡放大率,最小可低至 0.5μm,可達(dá) 40μm。
連續(xù)共聚焦
共聚焦測(cè)量技術(shù)將采集時(shí)間穩(wěn)步減少 3 倍。連續(xù)共聚焦模式通過同時(shí)掃描面內(nèi)和 Z 軸,避免了經(jīng)典共聚焦的離散(耗時(shí))面與面采集。對(duì)于減少大面積掃描和大 Z 掃描的采集時(shí)間至關(guān)重要。
HDR
高動(dòng)態(tài)范圍減少高反射表面上的反射和脫落點(diǎn)。
智能噪音檢測(cè)
S neox 使用檢測(cè)算法(SND) 檢測(cè)那些不可靠的數(shù)據(jù)像素。與使用空間平均的其他技術(shù)相比, S neox 在不損失橫向分辨率的情況下逐像素處理。
LED光源的優(yōu)勢(shì)
用LED做照明光源要比用激光更有優(yōu)勢(shì)。首先LED光源可以避免發(fā)生激光光源的散斑現(xiàn)象。其次LED光源的使用壽命約50000小時(shí)(約25倍于激光)。最重要的是多個(gè)LED就意味著可以根據(jù)樣品的需求選擇的波長來測(cè)量。
多波長LED光源
SNEOX內(nèi)置4顆LED光源:紅(630nm), 綠(530nm), 藍(lán)(460nm)和白光。短波長的光可以滿足需要更高水平分辨率的應(yīng)用。而長波長的光可以提供更好的光學(xué)相干性,可達(dá)20um, 使相差干涉可以掃描光滑表面上的大區(qū)域。此外,紅、綠和藍(lán)光的交替照明還能提升色彩的真實(shí)性和還原性。
DIC 觀察
微分干涉 (DIC) 用于強(qiáng)調(diào)在正常觀察中沒有對(duì)比度的非常小的高度特征。通過使用 Nomarski 棱鏡,產(chǎn)生了干涉圖像,解決了在明視場(chǎng)或共聚焦圖像中不可見的亞納米級(jí)結(jié)構(gòu)。
高分辨率
垂直分辨率受到儀器噪聲的限制,儀器噪聲對(duì)于干涉測(cè)量是固定的,但共聚焦測(cè)量依賴的數(shù)值孔徑。Sensofar 專有算法以光學(xué)儀器的橫向分辨率為測(cè)量技術(shù)提供納米級(jí)系統(tǒng)噪聲。所示的形貌是亞納米 (0.3 nm) 原子層。由 PTB 提供。
高坡度
顯微鏡物鏡的數(shù)值孔徑 (NA) 限制了光學(xué)平滑表面上的可測(cè)斜率,而光學(xué)粗糙表面或散射表面提供的信號(hào)超出了該限制。Sensofar算法設(shè)計(jì)在光滑表面上測(cè)量達(dá) 71o(0.95 NA),在粗糙樣品上測(cè)量高達(dá) 86°。
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