Agilent安捷倫 鈦升華泵 (TSP) 泵芯是用于抽除超高真空等真空系統(tǒng)中所有可吸收氣體的一種有效手段。TSP 可添加到離子泵內(nèi)部，也可作為獨立的泵單元。與液冷低溫?fù)醢褰Y(jié)合使用可降低溫度，進(jìn)一步提高中間氣體的抽速。

鈦絲型 TSP 泵在超高真空系統(tǒng)中比較常用，因為它可在兩次升華間關(guān)閉，因此不會增加高溫引起的氣體逸出。球形鈦泵含大量鈦，在需要使用較多鈦的條件下（例如較高的運行壓力），它的使用壽命更長。

產(chǎn)品特點

·在 2.75 英寸 ConFlat 法蘭上提供。

·可烘烤至 400 °C。

·運行壓力范圍為 1.0–4 至 1.0–12 mbar。

·鈦絲架上裝有三根鈦絲，每根絲含 1.1 g 可用鈦。

·可更換鈦絲包中有 12 條鈦絲，可以進(jìn)行 4 次替換。

·Mini Ti-Ball 鈦球可提供 15.2 g 可用鈦，能夠延長使用壽命。

·在 300 瓦的功率下可實現(xiàn)Ti-Ball 鈦球升華，但待機功率要求為 100 瓦，以免鈦球在不使用時破裂。

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品選型