TESCAN S9000G 是一款鎵離子源的 FIB-SEM 系統(tǒng),適用于超薄 TEM 樣品制備和其它具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務,這些任務要求設備具有超高分*的離子光學系統(tǒng)和納米加工能力。TESCAN S9000G的 Triglav™ 型 SEM 鏡筒具有超高的分辨率,特別是在低電壓下;鏡筒內(nèi)探測器系統(tǒng)具有電子信號過濾能力,為獲得更好的圖像襯度和表面靈敏度翻開了全新的篇章。TESCAN S9000G 的 Orage™ 型 FIB 鏡筒提供不僅為納米加工提供了超高精度,還具備很高的離子束流,因此可以滿足大體積加工和分析的需求。
出色的低電壓離子束分辨率和性能使得 TESCAN S9000G 有能力制備小于 20 nm 的、半導體器件超高質(zhì)量的超薄 TEM 樣品。此外,高達 100 nA 的大離子束流可以對生物樣品和材料進行位置的、大體積 FIB-SEM 逐層掃描,圖像也具有出色的襯度。TESCAN S9000G 使用了全新的 Essence™ 軟件,軟件用戶界面友好,可以滿足各類應用需求,可定制的軟件布局以及自動化的樣品制備功能,大限度地提升了操作便捷性和工作效率。
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