1.設備簡介
該設備是一款小型磁控濺射鍍膜儀，主要特點是設備體積小，結構簡單緊湊易于操作，對實驗室供電要求低;該系列設備主要部件采用進口或者國內(nèi)的配置，從而提高設備的穩(wěn)定性;另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設備的運行重復性及安全性方面得到更好地保障。
該設備標配2只Φ2英寸永磁靶，一臺500W直流濺射電源(用于濺射金屬導電材料)，1臺300W全自動匹配射頻濺射電源(用于濺射絕緣材料)，主要用來開發(fā)納米級單層及多層的金屬導電膜、半導體膜以及絕緣膜等。
2.主要技術參數(shù)
2.1 腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接;
2.2 樣品臺尺寸：Ф75mm，高度：60～120mm可調(diào)，旋轉：0-20r/min可調(diào);可加熱至600℃;
2.3 真空系統(tǒng)：機械泵(TRP-12,3L/S)+脂潤滑分子泵(FF-63/80,70L/s);GDC-25b電磁擋板閥，DN63mm 限流閥;
2.4 極限真空：8.0×10-5Pa;
2.5 真空抽速：大氣～8×10-4Pa ≤ 20min;
2.6 真空測量：全量程復合真空計，測量范圍：105Pa～10-5Pa;
2.7 磁控靶：Φ2英寸2只(含靶擋板)，兼容直流電源和射頻電源;
2.8 濺射電源：1臺500W直流濺射電源和1臺300W全自動匹配射頻電源;
2.9 質(zhì)量流量計：進口20sccm、50sccm質(zhì)量流量控制器各一套;
2.10控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護提示等功能;
2.11設備外形：L60cm×W60cm×H96cm機電一體化機架，預留1個KF40及1個CF35法蘭接口;
2.12 設備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制(一火一零一地);
2.13 冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設備相關需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水;
3.設備主要配置表
| 真空腔室 | Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼 |
| 分子泵 | 脂潤滑分子泵(FF-63/80,70L/s) |
| 前級泵 | 機械泵，北儀優(yōu)成 |
| 真空規(guī) | 全量程真空規(guī)，成都睿寶 |
| 濺射靶 | Ф2英寸永磁靶2支（含靶擋板），維意真空 |
| 濺射電源 | 500W直流濺射電源1臺，300W全自動匹配射頻電源1臺 |
| 流量計 | 20sccm/50sccm進口Line Tech |
| 控制系統(tǒng) | PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套，維意真空 |
| 冷水機 | LX-300，維意真空 |
| 前級閥 | GDC-25b電磁擋板閥1套，維意真空 |
| 旁路閥 | GDC-25b電磁擋板閥1套，維意真空 |
| 限流閥 | DN63mm一套，維意真空 |
| 充氣閥 | Φ6mm，電磁截止閥1套，七星華創(chuàng) |
| 放氣閥 | Φ6mm，電磁截止閥1套，七星華創(chuàng) |
| 基片臺 | Ф75mm，高度：60～120mm可調(diào)，旋轉：0-20r/min可調(diào)，可加熱至600℃，維意真空 |
| 真空管路 | 波紋管、真空管道等1套，維意真空 |
| 設備機架 | 機電一體化，維意真空 |
| 預留接口 | CF35法蘭一個，維意真空 |
| 備件 | CF35銅墊圈及氟密封圈全套等，維意真空 |
4.設備主要優(yōu)勢
4.1 實用性：
4.1.1 設備集成度高，結構緊湊，占地面積小，可以放置于實驗桌面上即可;
4.1.2通過更換設備上下法蘭可以實現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉換，實現(xiàn)一機多用;
4.2 方便性：
4.2.1 設備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡單，既保證了設備使用方便又保證了設備的整潔性;
4.2.2 設備可將主機置于手套箱內(nèi)，水、電、氣等通過4個KF40接口接到手套箱外，與手套箱的對接靈活方便;
4.2.3 設備工作電壓為220V，整機功率小于2KW，對實驗室的供電要求低;
4.3 穩(wěn)定性：
4.3.1設備主要零部件采用進口或國內(nèi)品牌，保證了設備的質(zhì)量及穩(wěn)定性;
4.4 性：
4.4.1 獨立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)，具有智能控制模式和調(diào)試維修模式;
4.4.2 控制系統(tǒng)具備漏氣自檢與提示功能，當設備漏氣時，系統(tǒng)會自動提示設備漏氣，以便用戶進行檢漏，保證設備正常穩(wěn)定運行;
4.4.3 控制系統(tǒng)具備保養(yǎng)維護提示功能，當設備運行達到一定時長，系統(tǒng)會自動提示設備需要維護保養(yǎng)，以便用戶及時進行維護，保證設備正常穩(wěn)定運行;
4.4.4 控制系統(tǒng)具備通訊故障自檢功能，系統(tǒng)對分子泵、濺射電源、真空規(guī)、電機、流量計等部件的通訊進行自檢，如果某個部件出現(xiàn)故障，可以按照系統(tǒng)中的各部件故障查詢辦法進行查詢，及時確認故障原因，保證設備安全;
4.4.5 控制系統(tǒng)具備數(shù)據(jù)記錄與導出功能，控制系統(tǒng)記錄設備的操作記錄及鍍膜過程數(shù)據(jù)，可以在系統(tǒng)中查看這些數(shù)據(jù)，也可以用U盤導出這些數(shù)據(jù);
4.4.6 該系統(tǒng)具備三個等級級密碼保護功能，不同等級不同使用權限，確保設備的安全性和數(shù)據(jù)的保密性;
5.設備安裝條件(用戶自備)
5.1 供電要求
5.1.1 設備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制(一火一零一地);
5.1.2 插座距離設備尺寸≤2m;
5.1.3 其它：如用戶選配冷卻循環(huán)水機或其它選購件，用戶自行準備增配件的供電要求，不在安裝條件范圍內(nèi);
5.2供水要求
5.2.1 設備需水冷的部件有磁控靶、膜厚儀探頭(如選配膜厚控制系統(tǒng));
5.2.2 水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃;
5.3安裝場地大小要求
設備尺寸為：長×寬: L60cm×W60cm，建議安裝場地尺寸≥L60×W80cm。
5.4 其他要求
5.4.1 環(huán)境溫度：5～40℃;
5.4.2 環(huán)境濕度：<85%R.H;
5.4.3 室內(nèi)無大量塵埃，無腐蝕性、易燃易爆氣體;
6.設備服務承諾
尊敬的客戶：
首先感謝您對我們公司產(chǎn)品的信任!
我公司本著“以的價格、最完善的服務、提供質(zhì)的產(chǎn)品”的宗旨向您鄭重承諾：
6.1 售后服務承諾
6.1.1 產(chǎn)品質(zhì)保期為一年;
6.1.2 在質(zhì)保期內(nèi)供方將免費維修和更換因設備質(zhì)量原因造成的零部件損壞;
6.1.3 在質(zhì)保期外設備零部件的損壞，提供的配件只收成本費;
6.1.4 質(zhì)保期內(nèi)或質(zhì)保期外如設備出現(xiàn)故障，供方接到用戶的正式通知(含電話或郵件通知)后，我公司技術人員于48小時內(nèi)，趕到技術服務現(xiàn)場并開始維修。
