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廣電計量檢測集團股份有限公司

光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱

參考價 158709
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號JS
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2023/12/25 16:21:20
  • 訪問次數(shù)1100
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設備研發(fā)、生產、銷售及服務的企業(yè)。主要生產半導體工藝設備、環(huán)境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱,高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內部實施了CRM、ERP項目管理,在產品開發(fā)、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網(wǎng)絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!






HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
材質 不銹鋼 工作室尺寸 980mm
功率 4000 加工定制
類型 恒溫 適用范圍 太陽能、半導體、集成電路
溫度范圍 200℃ 重量 390kg
光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱就是涂膠前要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結合良好。未經過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。
光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱 產品信息

光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱的作用

  電池片制備是光伏電池片生產中的核心環(huán)節(jié),主要包括光刻、擴散、沉積和金屬化等工藝步驟

1.光刻:光刻工藝主要利用光刻膠和掩膜將所需的電極圖案投影到硅片表面,并通過曝光和顯影等過程形成圖案。

2.擴散:擴散工藝通過高溫將摻雜物(如磷或硼)注入硅片中,形成PN結構,從而使其具有正負電荷分離的能力。

3.沉積:沉積工藝主要是在硅片表面進行氧化、硝化或硫化等處理,形成適當?shù)碾姵仄砻娼Y構和保護層

4.金屬化:金屬化工藝將電極材料(如鋁或銀)通過蒸鍍、濺射或印刷等方法沉積在電池片表面作為電流收集和傳輸?shù)膶w。

    光刻中第一步需要表面預處理,就是涂膠前要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結合良好。未經過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。

光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱技術參數(shù)

主要方法:氣相沉積

工藝步驟:HMDS烘箱在高溫條件下,達到真空狀態(tài)后開始涂布工藝,涂布完成后烘箱內部充入N2,排出尾氣,達到常壓后方可開門。

溫度范圍:RT+10-200℃

真空度:≤1torr

控制儀表:人機界面,自動運行

儲液瓶:標配 

真空泵:無油渦旋真空泵

數(shù)據(jù)處理:多個工藝方案,可修改并記錄,使用數(shù)據(jù)可記錄

保護裝置: 低液位報警,HMDS藥液泄漏報&警,超溫保護并斷開加熱,漏電保護,過流保護等


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