HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵
真空干泵具有 <50dBA)和低振動運(yùn)行的,
密封設(shè)計(真空區(qū)與電機(jī)和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來的污染風(fēng)險。
極限壓力:1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)
最大入口壓力:1.0 個大氣壓(0 psig)
冷卻 方式:風(fēng)冷
泵凈重: 34 q (75 bs);含包裝: 45 kg(100bs)
尺寸 (高x寬x長(mm)):364x 333x 485
泄漏速度(密封排氣口時):< 1 x 10° sccs (1 x 10 mbar.l/s)
HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵用途
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到一 定溫度,在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合,使這樣的襯底表面具有疏水性。從而增強(qiáng)光刻與襯底表面的粘附性。
HMDS烘箱性能
溫度范圍:RT+10-250℃
真空度:≤1torr
控制儀表:彩色觸摸屏控制,操作更加簡單,方便
HMDS工藝:蒸汽氣相涂布
安全檢測:超溫保護(hù),HMDS泄漏檢測提示
儲液瓶:HMDS儲液瓶
真空泵:無油渦旋真空泵
工作室(mm):300*300*300/450*450*450、定制