科研真空探針臺(tái)電信號(hào)測(cè)試科
真空探針臺(tái):
可應(yīng)用于高低溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域。
科研真空探針臺(tái)電信號(hào)測(cè)試
主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái),臺(tái)面可升溫到400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。
科研真空探針臺(tái)電信號(hào)測(cè)試
該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)<5Pa分子泵可達(dá)<-3Pa。真空信號(hào)連接處使用級(jí)別真空電極信號(hào)接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面,探針處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處,外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來測(cè)試電學(xué)信號(hào)。