●成都真空設備廠家 半導體制程PVD沉積臺 電阻蒸發(fā) 電子束蒸發(fā) 離子源輔助清洗 輔助沉積 可定制
●本裝置使用電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和離子源輔助清洗、輔助沉積和原位刻蝕進行復合，用于制備特種薄膜，薄膜具有均勻性、附著力、抗損傷、低顆粒物污染等特點，是半導體制程中關鍵工序的核心裝備，其技術長期被美國、日本等國技術所壟斷，屬于國內卡脖子裝備，也是制約國內半導體領域自主可控的關鍵設備，該設備的技術突破和產業(yè)化對國內半導體產業(yè)發(fā)展具有積極意義。
●說明：根據(jù)用戶要求，公司愿與客戶聯(lián)合研發(fā)，共享知識產權，公司致力于工藝與設備匹配。
