●本設(shè)備適用于高精密光通訊產(chǎn)品鍍制光學(xué)膜, 電學(xué)膜、金屬膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各種濾光片、玻璃片及塑膠(樹脂)件上鍍制增透膜和截止膜等各種膜系鍍膜。為滿足廣大用戶的不同需求,我公司可接受多種形式的真空鍍膜機(jī)的定制要求,包括對真空室體尺寸、真空系統(tǒng)配置、工件夾具系統(tǒng)、工件烘烤系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)、蒸發(fā)源系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、離子源系統(tǒng)以及電氣控制系統(tǒng)的特殊定制。
1.采用箱式結(jié)構(gòu),腔體尺寸可以定制,直徑350-2600mm,真空系統(tǒng)后置,便于操作和維修;特別適合放置在凈化間內(nèi)做穿墻式安裝。
2.設(shè)備真空系統(tǒng)抽速大,具有抽氣時間短,真空度高,生產(chǎn)周期短等優(yōu)點(diǎn),可以選配大型擴(kuò)散泵系統(tǒng)、分子泵系統(tǒng)、低溫泵系統(tǒng)。
3.采用不銹鋼鎧裝加熱器上烘烤,也可選配紅外輻射加熱器,烘烤溫度均勻,壽命長,可達(dá)到烘烤溫度350℃,烘烤均勻性270℃±10℃。
4.電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、有機(jī)蒸發(fā)、旋轉(zhuǎn)組蒸任意選擇,有效匹配,滿足不同需求的鍍膜工藝。
5.工件轉(zhuǎn)動采用上部中心驅(qū)動,軸承帶水冷,磁流體密封,轉(zhuǎn)動平穩(wěn)可選配行星工件盤或球形工件盤。
6.采用瑞士進(jìn)口石英晶體膜厚控制儀,可實(shí)現(xiàn)鍍膜過程的自動控制。
7.采用西門子的鍍膜控制系統(tǒng),人機(jī)操作界面美觀實(shí)用,系統(tǒng)穩(wěn)定,可實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的手動、半自動和全自動操作。
8.具有國內(nèi)大口徑精密光學(xué)鍍膜機(jī)和刻蝕機(jī)的核心技術(shù)。
多年來我公司先后開發(fā)了350、450、500、550、630、700、800、900、1100、1250、1300、1500、1800、2200、2500尺寸系列的箱式真空鍍膜機(jī)。