新型超臨界Automegasamdri-938系統(tǒng)由我們的內(nèi)部設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)開發(fā)，其目標(biāo)是傾聽您的需求，并將其融入我們的下一代產(chǎn)品中。幾十年來(lái)，您一直期待的經(jīng)典功能能夠?qū)崿F(xiàn)平穩(wěn)操作、準(zhǔn)確控制和再現(xiàn)性，在我們這個(gè)新的設(shè)計(jì)中再次顯現(xiàn)。
- 運(yùn)行室中的專用初始慢速填充可以實(shí)現(xiàn)理想的流體動(dòng)力學(xué)，從而保留敏感的微型設(shè)備。
- 通過(guò)可接近的部件，包括外部吹掃后過(guò)濾器組件，維護(hù)變得容易。
- “渦流”技術(shù)：非機(jī)械攪拌室，允許流體動(dòng)態(tài)交換，無(wú)需產(chǎn)生顆粒的摩擦裝置。
- 集成閉合冷卻回路可快速降低腔室溫度，縮短工藝運(yùn)行時(shí)間。
- 內(nèi)部SOTER（tm）冷凝器安靜地捕獲并分離二氧化碳廢氣和廢酒精。
- 腔室插入件可實(shí)現(xiàn)腔室內(nèi)徑的變化，更大限度地提高LCO2消耗效率、工藝時(shí)間，并提供多種尺寸的晶圓工藝能力。
- 處理室LCO2過(guò)濾至0.08μm，顆粒保留率達(dá)到99.999%+。
- 每次運(yùn)行可處理五個(gè)8“（200mm）晶圓。包括以下HF兼容晶圓夾：8”（200mm）、6”（150mm）、4”（100mm）、3”（75mm）、2”（50mm）和10mm模具夾。
- 通過(guò)觀察窗口實(shí)現(xiàn)腔室照明，有助于腔室狀態(tài)可視化。
- 自動(dòng)處理與工廠默認(rèn)配方或自定義自己的能力。
- 所有內(nèi)表面對(duì)二氧化碳和超純醇都是惰性的。
- 可重復(fù)的操作參數(shù)，確保結(jié)果的“再現(xiàn)性”。
- 操作功能集成在溫度和壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)中。
- 潔凈室無(wú)靜電兼容設(shè)計(jì)。
8760-03：8“工藝室用KNURL螺母
8760-41：適用于Autosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的3A保險(xiǎn)絲
8760-42：適用于Autosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的8A保險(xiǎn)絲
8770-13：LED室燈，120V
8770-32：高壓軟管，5英尺
8770-33：高壓軟管，10英尺
8770-80：4“工藝腔室的腔室蓋
8785：雙T形過(guò)濾器組件
8770-83B：用于LCO2 T型過(guò)濾器或外部吹掃管線過(guò)濾器的0.5µm不銹鋼顆粒過(guò)濾器元件。
8784-05：LCO2儲(chǔ)罐連接墊片
8770-51T/916B：AutomegaSamdri-938和AutomegaSambri-916B的O型環(huán)
8770-48：流量計(jì)-與Automegasamdri-938或Automegasamdri 916B（180 SCFH）一起使用
8770-54：LCO2油箱秤，帶遠(yuǎn)程顯示器
8768H：8“-200毫米HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓
8768A：6“-150mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓
8768F：5“-125mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓
8768B：4“-100mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓
8768C：3“-75mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓
8768D：2“-50mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓
8768G：1“-25mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓
8768E：10mm方形HF兼容芯片支架，可容納5個(gè)芯片
產(chǎn)地：美國(guó)
柜子：19.8" (50.3cm)寬x 31.7" （80.6cm）深x 44.5" （113.0cm）高
系統(tǒng)設(shè)置區(qū)域占地面積：27" （68.6cm）寬x 38" （96.5cm）深
腔室尺寸：8.50“內(nèi)徑x 1.25”深度
腔室容積：1162 ml
電壓：120V或220V
頻率：50-60Hz
流量控制：微型計(jì)量閥
晶圓尺寸：可達(dá)8"-200mm
編織線材質(zhì)：SS316
編織線長(zhǎng)度：10ft/3m（其他長(zhǎng)度可根據(jù)要求提供，可達(dá)100ft/30m）
過(guò)濾器組件：雙T形，預(yù)裝
生物工程
植物學(xué)
昆蟲學(xué)
凝膠
石墨烯
MEMS
金屬有機(jī)框架
其他SEM CPD應(yīng)用程序
