應用
?觸控及光學鍍膜產(chǎn)業(yè)
適用于顯示器面板，觸控面板及光學鍍膜觸控面板OGS關鍵設備及制程等產(chǎn)業(yè)的各類玻璃基板及軟性基板
滿足手機，平板，筆記型電腦，大尺寸電視應用
防反射（增透膜）：2AR，4AR，6AR
折射率匹配+ ITO（IMITO）
SiO2和ITO膜
鉬/鋁/鉬膜
ITO膜
?太陽能產(chǎn)業(yè)
非晶矽3GW的a-Si PVD實績達成
CIGS：鉬，CuGa，鎳，AZO，氧化鋅
a-Si/ u型硅：鋁，AZO，銀，鎳鉻
HIT：ITO，銀，銅應用
常用規(guī)格
·腔體材質(zhì)
304不銹鋼
·主泵
干泵或羅茨泵
渦輪分子泵
深冷泵
擴散泵等
·極限壓力
空載≤8.0×10-7 托/24h
≤8.0×10-7 torr/24h
@Empty，Cleaning
·漏氣率
≤1.0×10-9 托.升/秒
使用氦檢漏儀
≤1.0×10-9 torr. l/sec
·卷繞速度
0.01～6.00米/分鐘
0.01～6.00m/min
·靶材
金屬：鋁，鉻，鎳，鉬，金等
氧化物：ITO,二氧化硅，等
·基片
薄膜（PET, PI, PC)
塑料，紡織品等
·厚度均勻性
≤±5% 有效區(qū)域
·附著力
99% （磁帶測試）
99% （Taping test ）
·控制系統(tǒng)
人機界面控制(PLC + PC)
選擇功能(手動/自動/半自動)
數(shù)據(jù)反饋和實時顯示的功能
| 寬徑 | 1350mm | 1700mm | 2100mm | 2500mm | 2900mm |
| 卷徑 | 800mm | 800mm | 1000mm | 1000mm | 1000mm |
| 蒸發(fā)舟 | 14只 | 18只 | 22只 | 26只 | 30只 |
| 蒸鍍壓強 | 4x10-2pa(4×10-4mbar) | ||||
| 循環(huán)水量 | 25m3/h | 30m3/h | 35m3/h | 40m3/h | 45m3/h |
| 平均耗電量 | 200KW | 230KW | 280KW | 300KW | 330KW |
| 卷繞帶材 | PET:8-35; CPP:18-60; BOPP PVC:15-60;(µm) | ||||
| 卷繞速度 | 720m/min | 1000m/min | |||
| 月產(chǎn)量 | 250T | 330T | 480T | 580T | 680T |
| 控制方式 | 手動＋半自動＋全自動一體化/觸摸屏＋PLC | ||||
| 備注 | 真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做 | ||||
光電薄膜繞卷鍍膜機,繞卷式鍍膜及多層鍍膜，可應用于電子紙、ITO薄膜、軟性電路板，太陽能薄膜電池、醫(yī)療試片、RFID天線及水氧阻隔膜等各項產(chǎn)品。用于電子屏蔽膜、汽車車窗防爆膜、建筑裝潢等領域，如金屬網(wǎng)柵電磁屏蔽膜、ITO透明導電膜、防劃傷ITO導電膜、電磁屏蔽膜、透明加熱膜、隔熱節(jié)能膜、PC銅鎳膜、PC散熱屏蔽膜、電容膜、電阻屏用雙膜等產(chǎn)品。
