前烘氮?dú)夂嫦?,硬烘潔凈烘?/strong>用途
前烘可在熱烘板或氮?dú)夂嫦渲羞M(jìn)行,本課題采用的熱風(fēng)烘箱為雋思氮?dú)鉂崈艉嫦?,由于在鼓風(fēng)烘箱中對(duì)流烘烤將會(huì)使前烘進(jìn)行的更加均勻,所以在鼓風(fēng)箱中前烘的效果將會(huì)更理想。
前烘是在涂膠結(jié)束后進(jìn)行,它的作用有以下幾個(gè)方面
驅(qū)趕膠中的溶劑
提高膠對(duì)襯底的黏附性
提高膠的抗腐蝕能力
優(yōu)化膠的光學(xué)吸收特性
提高涂膠的均勻性
提高條寬控制能力
通過(guò)前烘,基片上的光刻膠基本固化。
前烘氮?dú)夂嫦?,硬烘潔凈烘?/strong>性能:
潔凈度:Class100;
溫度:RT+15~200℃;
氣體:N2
計(jì)時(shí)功能:0-99H99M99S
設(shè)備材質(zhì):內(nèi)部SUS304不銹鋼
工作尺寸(mm):
450×450×450
500×500×550
(可定制)
網(wǎng)板:活動(dòng)式2塊
前烘氮?dú)夂嫦?,潔凈烘箱適用性:
氮?dú)夂嫦湟策m用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研.
真空無(wú)氧固化爐,高溫?zé)o氧烘箱技術(shù)參數(shù)
溫度范圍: RT ~300/450/550℃;
溫度波動(dòng)度:≤±1℃
升溫速度:0-10℃/min;
降溫方式:自然降溫或風(fēng)冷+水冷降溫
氮?dú)饪刂疲?可調(diào)試流量計(jì)控制
氧含量檢測(cè):20~1000ppm
工作尺寸:W350×H350×D400,
高溫?zé)o氧真空烘箱溫控系統(tǒng):
操作界面:人機(jī)界面+PLC,可一鍵運(yùn)行,多個(gè)工藝編輯;
溫度測(cè)量:K型熱偶;
控制儀表:高精度溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃,