FHV通風(fēng)柜
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蝕刻清洗專用的聚氯乙烯制通風(fēng)柜。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蝕刻清洗專用通風(fēng)柜。 由于全部采用聚氯乙烯材料制造,具有的抗強酸、堿等的耐腐蝕性。
可以在通風(fēng)柜下臺裝入恒溫水循環(huán)裝置進行使用。
內(nèi)、外裝都是使用的硬質(zhì)聚氯乙烯,.適合使用酸、堿等的蝕刻清洗。
通過采用阻流板可以很好的排出比重較大的氣體。
共通規(guī)格
內(nèi)外裝 | 硬質(zhì)聚氯乙烯材料 5mm厚 |
操作臺面(選定) | 硬質(zhì)聚氯乙烯材料 5mm厚 |
門 | 透明聚氯乙烯材料 5mm厚 |
水栓 | 120型:2個(自來水、純水用各1個) 150/180型:4個(自來水、純水用各2個) |
插座 | AC220V 10A,2個 |
熒光燈 | 120/150型30W、180型40W各一個 |
規(guī)格
型號 | FHV-120 | FHV-150 | FHV-180 | |
外形尺寸 | 深*高 | 750*1850mm | ||
寬 | 1200mm | 1500mm | 1800mm | |
重量 | 約200kg | 約230kg | 約250kg | |
排氣風(fēng)量 | 10m3/min | 13m3/min | 15m3/min | |
機內(nèi)靜壓(推薦值) | 50Pa(5mmH2O) | 59Pa(6mmH2O) | 40Pa(4mmH2O) |
機型一覽表
無排風(fēng)機 | FHV-120 | FHV-150 | FHV-180 |
有排風(fēng)機 | FHV-120B | FHV-150B | FHV-180B |
陶瓷鋼板(K) | FHV-120K | FHV-150K | FHV-180K |