GF125 / GF126系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表
MFC | 半導(dǎo)體產(chǎn)品
金屬密封熱
高純和超高純氣體質(zhì)量流量控制器與流量計(jì)
GF125 系列產(chǎn)品是多變量壓力變化補(bǔ)償型 (PTI) 金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表，作為將 PTI 質(zhì)量流量控制技術(shù)引入市場的 GF125 系列產(chǎn)品降低了壓力和溫度波動(dòng)導(dǎo)致的過程氣體流量變化。一臺(tái)采用標(biāo)準(zhǔn) MultiFlo™ 技術(shù)的 MFC 即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。
結(jié)果：降低了氣體顯示屏尺寸和成本，這得益于省去了壓力調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和相關(guān)硬件的使用并輔以 PTI 性能以提高產(chǎn)率和生產(chǎn)效率。
特點(diǎn)
- 長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 ± 0.5%ar
- 穩(wěn)定時(shí)間短：300 ms – <700 ms
- 滿量程流速達(dá) 300 slpm
- – 4µ 英寸 Ra 表面處理
- 符合 SEMI F20 標(biāo)準(zhǔn)的接液材料
- 采用高速 ARM 處理器的耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器
- 可進(jìn)行快速反應(yīng)的無隔膜閥組件不受壓差影響，并且測試表明產(chǎn)品經(jīng)七百萬次循環(huán)
- MultiFlo™ 技術(shù)靈活性 — 一臺(tái)設(shè)備經(jīng)編程設(shè)定后即可滿足數(shù)千種不同氣體和流量測量范圍配置的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
- 本地顯示屏可指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址以便于輕松解決供氣和隔離閥故障問題
- DeviceNet™、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
優(yōu)勢
- GF125 系列產(chǎn)品通過將布魯克斯儀器的流量傳感器技術(shù)與能夠進(jìn)行快速反應(yīng)的無隔膜閥組件相結(jié)合，可將響應(yīng)速度和穩(wěn)定速度較之其他質(zhì)量流量控制器提高 3 倍。
- 經(jīng)優(yōu)化的接液流路，可提升干燥效果
- MultiFloTM 技術(shù)可實(shí)現(xiàn) MFC 流量測定量程的重新設(shè)定，通常是按 3:1 下調(diào)并且不影響精度，量程比或內(nèi)漏率
- 全面的氣體數(shù)據(jù)庫為您提供廣泛的氣體保護(hù)信息
- 壓力變化補(bǔ)償 (PTI) 功能能夠克服傳統(tǒng) MFC 的限制（受進(jìn)氣壓力波動(dòng)影響明顯）。產(chǎn)品效果表明其性能穩(wěn)定并且可達(dá)到預(yù)期精度。
- 便捷的用戶顯示屏和獨(dú)立的診斷/維護(hù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)測和故障排除
關(guān)鍵應(yīng)用
- 半導(dǎo)體
- MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）
- 要求使用高純度全金屬流路的氣體流量控制應(yīng)用
- 便捷的維護(hù)端口
- 輕松進(jìn)行診斷和故障排除
- 不影響工具通信
用戶界面
- 輕松安裝、啟動(dòng)和操作
機(jī)械耦合閥
- 耐腐蝕全金屬閥
- 采用無隔膜設(shè)計(jì)并且不受壓差影響
- 高速吹掃功能
- 測試表明產(chǎn)品經(jīng)四百萬次循環(huán)
壓力傳感器
- 不受輸送壓力擾動(dòng)或波動(dòng)影響的穩(wěn)定流量控制
溫升傳感器
- 長期穩(wěn)定性（<+0.5% F.S/年）
- 提高了信噪比
- 高速吹掃功能
- 可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體
溫度傳感器
- 可在全溫度范圍內(nèi)進(jìn)行準(zhǔn)確的流量和溫度測量
- 實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境溫度波動(dòng)，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的氣體化學(xué)控制
