產(chǎn)品特性
采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級(jí)的分辨率
測(cè)量具有非破壞性,測(cè)量速度快,精.確度高
測(cè)量范圍廣,可測(cè)透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…);
尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面
不受樣品反射率的影響
不受環(huán)境光的影響
測(cè)量簡(jiǎn)單,樣品無(wú)需特殊處理
Z方向,測(cè)量范圍大:為27mm
主要技術(shù)參數(shù)
掃描范圍:400mm×600mm(*大可選600mm*600mm)
掃描步長(zhǎng):5nm
掃描速度:1m/s
Z方向測(cè)量范圍:27mm
方向測(cè)量分辨率:2nm
產(chǎn)品應(yīng)用
MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學(xué)元件、陶瓷和*材料的研發(fā)
主要用于
--生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)三維形貌測(cè)試的理想選擇
--高速三維表面形貌檢測(cè).