采用開放式框架設(shè)計(jì)允許透射光照明,可以配置玻璃板樣品架或插入件,也可以配置多種大尺寸的載物臺(tái)樣品架和載物臺(tái)插件，包括用于半導(dǎo)體檢測的真空晶圓吸盤和卡盤。
大型顯微鏡位移臺(tái)是直流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的,也兼容其它精密無空回反沖的齒輪頭電機(jī)或較大的spur-head電機(jī)以獲得更高運(yùn)行速度。該大型顯微鏡位移臺(tái)還兼容高精度線性編碼器。
大型顯微鏡位移臺(tái)特點(diǎn)
1.閉環(huán)直流伺服控制用于精準(zhǔn)定位和高重復(fù)性聚焦；
2.寬的動(dòng)態(tài)范圍速度與操縱桿控制；
3.背光液晶顯示器顯示XY和Z坐標(biāo)軸；
4.“0”和“Home”按鈕用于簡單的獨(dú)立操作；
5.緊湊的符合人體工程學(xué)桌面控制尺寸是6”D x 9”W x 3”H；
6.微處理器控制與RS-232串行和USB通信；
7.許多經(jīng)過驗(yàn)證操作的流行軟件包。
大型顯微鏡位移臺(tái)可選線性編碼器附件
| 軸 | 分辨率 | 比例尺精度 |
| XY | 10 nm | ± 3 μm 每尺寸長度 |
| 絲桿螺距選擇 | 旋轉(zhuǎn)編碼器分辨率 | 速度 |
| 25.40 mm (Ultra-coarse) | 88 nm | 28 mm/sec |
| 12.70 mm (Super-coarse) | 44 nm | 28 mm/sec |
| 6.35 mm (Standard) | 22 nm | 7 mm/sec |
| 1.59 mm (Fine) | 5.5 nm | 1.75 mm/sec |
| 0.635 mm (Extra-fine) | 2.2 nm | 0.7 mm/sec |
大型顯微鏡位移臺(tái)可選齒輪頭電機(jī)
| 絲桿螺距選擇 | 旋轉(zhuǎn)編碼器分辨率 | 速度 | 可重復(fù)性 |
| 1/16″ | 210 nm | 30 mm/sec | 4.5 μm |
| 1/4″ | 0.84μm | 120 mm/sec | 8.0 μm |
| 1/2″ | 1.7 μm | 120 mm/sec | 15.0 μm |
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