顯微鏡聚焦位移臺(tái)所有XYZ三軸精確控制是通過(guò)閉環(huán)直流伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)的，閉環(huán)直流伺服電機(jī)采用高分辨率的旋轉(zhuǎn)編碼器進(jìn)行定位反饋。通過(guò)對(duì)顯微鏡聚焦位移臺(tái)位置的閉環(huán)控制,避免出現(xiàn)位置信息丟失的問(wèn)題,而開(kāi)環(huán)微步位移臺(tái)在多次移動(dòng)和改變方向后會(huì)發(fā)生位置信息丟失問(wèn)題。
顯微鏡聚焦位移臺(tái)FTP-2000采用交叉滾筒位移臺(tái),高精度絲桿和零空回微型齒輪直流伺服馬達(dá)，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)準(zhǔn)確?？刹捎梦⑻幚砥骺刂频奈灰婆_(tái)控制器MS-2000,通過(guò)RS-232 和USB與主機(jī)通信。
圖1：顯微鏡聚焦位移臺(tái)實(shí)物圖
顯微鏡聚焦位移臺(tái)FTP-2000特點(diǎn)
1.XY和Z軸的閉環(huán)直流伺服控制用于精準(zhǔn)定位和高重復(fù)性聚焦；
2.寬的動(dòng)態(tài)速度范圍與操縱桿控制；
3.利用ASI經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的LS 系列線性定位器用于Z軸控制；
4.Z軸離合器，便于手動(dòng)和電動(dòng)調(diào)焦控制；
5.背光液晶顯示器顯示X、Y和Z坐標(biāo)；
6.“0”和“Home”按鈕用于簡(jiǎn)單的獨(dú)立操作；
7.緊湊的符合人體工程學(xué)桌面控制尺寸是6”D x 9”W x 3”H (9 x 23 16½ cm)；
8.微處理器控制RS-232系列和USB通信；
9.許多經(jīng)過(guò)驗(yàn)證操作的軟件包。
圖2：顯微鏡聚焦位移臺(tái)安裝示意圖
顯微鏡聚焦位移臺(tái)技術(shù)參數(shù)
| XY軸行程范圍 | 120 mm x 75 mm |
| XY 軸分辨率（編碼器步長(zhǎng)） | 22 nm |
| XY軸RMS重復(fù)精度 | < 700 nm |
| XY軸速度 | 7 mm /sec |
| Z軸分辨率（編碼器步長(zhǎng)） | 50 nm |
| Z軸重復(fù)精度 | ± 50 nm |
| Z軸速度 | 1.6 mm /sec |
| 推薦的負(fù)荷（可根據(jù)要求提供更高的負(fù)荷） | 5kg |
顯微鏡聚焦位移臺(tái)可選附件
1.壓電頂板與Z 軸范圍150納米、300納米和500納米；
2.XY和Z軸線性編碼器用于高精度定位和聚焦控制；
3.更大的工作臺(tái)頂板用于微機(jī)械、為注射器等的連接；
4.工作臺(tái)翼為更多附件空間；
5.自動(dòng)聚焦用于伴隨ASI驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)（需要NTSC, PAL,或者S-視頻模擬信號(hào)）；
6.可提供其他的絲桿節(jié)距。
顯微鏡聚焦位移臺(tái)線性編碼器提供選擇供應(yīng)的附件
| 軸 | 分辨率 | 比例尺精度 |
| XY | 10 nm | ± 3 μm 每尺寸長(zhǎng)度 |
| Z (12 mm 到 25 mm 沖程) | 50 nm | 0.025 µm 每毫米 |
| 絲桿螺距選擇 | 旋轉(zhuǎn)編碼器分辨率 | 速度 |
| 25.40 mm (Ultra-coarse) | 88 nm | 28 mm/sec |
| 12.70 mm (Super-coarse) | 44 nm | 14 mm/sec |
| 6.35 mm (Standard) | 22 nm | 7 mm/sec |
| 1.59 mm (Fine) | 5.5 nm | 1.75 mm/sec |
| 0.635 mm (Extra-fine) | 2.2 nm | 0.7 mm/sec |
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