關(guān)鍵詞：磁控濺射、電子束蒸鍍、超高真空、金屬膜、氧化膜、約瑟夫森結(jié)、超導(dǎo)、量子器件、量子比特、
多腔體、Qubit、UHV、鈮基超導(dǎo)、氮化鈮、鈦氮化鈮、NbTiN、NbN、sputtering system
Evaporation system、Nb-based superconductor、超導(dǎo)鋁結(jié)、Josephson junction
產(chǎn)地：歐洲； 型號(hào)：MEB550； 應(yīng)用：制備金屬膜、氧化膜，超導(dǎo)鋁結(jié)等
高真空電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備是量子器件制備中的儀器，用于制備各種高純金屬薄膜和氧化物薄膜。開(kāi)展量子計(jì)算機(jī)實(shí)驗(yàn)研究，如基于金剛石NV色心，離子阱，超導(dǎo)量子結(jié)，量子點(diǎn)電子自旋的研究，均需要蒸鍍各種高質(zhì)量金屬薄膜來(lái)制備量子器件。此款高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀（HV E-beam evaporation system）得到科研工作者廣泛使用和推崇，并且具有良好的聲譽(yù)。利用上述配置，研究者可以制備各種高品質(zhì)和高度可重復(fù)性薄膜材料。
目前包括物理所、清華大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、蘇州醫(yī)工所、長(zhǎng)春光機(jī)所、上海酸鹽研究所等單位均在使用相關(guān)設(shè)備；在國(guó)際上也獲得了美國(guó)(Yale Univ, Princeton Univ, UCSB, Chicago Univ, Raytheon）、英國(guó)（Glasgow Univ）、德國(guó)（KIT Karlsruhe, Dresden Univ）、日本(NTT, RIKEN, Tokyo Univ)、加拿大(Waterloo Univ, Sherbrooke Univ)、法國(guó) (CNRS, CEA, Thales Group, Grenoble, IEMN, Univ Geneva)、瑞士(ETH Zurich)、瑞典(Chalmers Univ)、俄羅斯(SKOLKOVO)、意大利（STMicroelectronics）等國(guó)家的機(jī)構(gòu)的高度認(rèn)可。
推薦配置：可以用于沉積幾乎任何金屬及氧化物薄膜，目前主要超導(dǎo)量子實(shí)驗(yàn)室均使用該設(shè)備制備超導(dǎo)結(jié)（量子比特和約瑟夫森結(jié)）和量子器件，可以制備大面積、高度穩(wěn)定性和可重復(fù)性超導(dǎo)結(jié)。
全自動(dòng)軟件包，支持半自動(dòng)和手動(dòng)模式，支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)操作和維護(hù)。
典型用戶(hù)：耶魯大學(xué)、UCSB、普林斯頓大學(xué)、滑鐵盧大學(xué)、法國(guó)科學(xué)研究中心（CNRS）、格拉斯哥大學(xué)、日本NTT、清華大學(xué)等，歡迎咨詢(xún)！
