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MEB550S高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機

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公司名稱上海續(xù)波光電技術有限公司
品牌
型號
所在地上海
廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/9/21 10:17:48
訪問次數(shù)180

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上海續(xù)波光電技術有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設備、光電材料及軟件、金剛石合成及應用、激光等離子體仿真和診斷等產(chǎn)品及服務進口的技術貿(mào)易服務型公司。公司至今已與法國、德國、英國、瑞士、意大利、美國、加拿大、日本、俄羅斯等國家的多家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關系，并服務于國內(nèi)從事微電子、半導體、光學、納米技術等領域的研究所和大學。公司從事領域及產(chǎn)品主要包括：加速器質(zhì)譜儀：第三代14C加速器質(zhì)譜儀系統(tǒng)（AMS），包括全套可兼容第三代石墨化系統(tǒng)AGE3、氣動壓樣裝置PSP、鐵制分配器FED、管密封裝置TSE、氣體電離探測器GID、氣體接口系統(tǒng)GIS、碳酸鹽處理系統(tǒng)CHS、同位素比質(zhì)譜儀IRMS。薄膜制備及處理：磁控濺射儀（magnetron sputtering system）、電子束蒸鍍設備(E-beam Evaporation system)、離子束濺射沉積(IBS system)、化學束外延鍍膜(CBE/GSMBE)、分子束外延設備(MBE)、離子減薄儀(Ion Milling)、超高真空多功能鍍膜設備、高精密光學鍍膜設備(Optical Coating system)、刻蝕機（RIE, RIEB）、超導約瑟夫森結(jié)制備(Josephson Junction, Qubits)；金剛石制備及應用：納米晶金剛石制備設備、熱絲化學氣相沉積（HFCVD）、CVD單晶金剛石合成設備、CVD光學級金剛石窗口合成、微波等離子化學氣相沉積（MPCVD）、工具級金剛石涂層制備（tool coating）、金剛石單晶/多晶摻雜（single crystal diamond and doping）、CVD金剛石單晶及其應用、高溫高壓金剛石單晶（HPHT diamond）、金剛石拋光設備（diamond polishing）、激光切割設備（laser cutting）、鉆石凈度及切工評定儀器；高能密度物理：輻射流體力學模擬、原子光譜分析軟件、多維碰撞輻射軟件、三維熱輻射CAD軟件、狀態(tài)方程和不透明度、原子物理數(shù)據(jù)庫；微波干涉儀、金剛石靶丸、超高功率輸出窗口；激光器與設計：固體激光器設計軟件(Solid-state Laser)、光纖激光器設計軟件(Fiber laser)、半導體激光器設計軟件(Semiconductor laser)、激光鏡面鍍膜設備(Lasers coating system)、高功率激光輸出窗口(High power output window)、高功率激光熱沉片(Heat Sink)、高功率鉆石激光器(Diamond Laser)、金剛石窗口鍍增透膜(AR coating service)；

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MEB550S高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機

MEB550S高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機產(chǎn)品信息

關鍵詞：磁控濺射、電子束蒸鍍、超高真空、金屬膜、氧化膜、約瑟夫森結(jié)、超導、量子器件、量子比特、

多腔體、Qubit、UHV、鈮基超導、氮化鈮、鈦氮化鈮、NbTiN、NbN、sputtering system

Evaporation system、Nb-based superconductor、超導鋁結(jié)、Josephson junction

產(chǎn)地：歐洲；型號：MEB550；應用：制備金屬膜、氧化膜，超導鋁結(jié)等

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜設備是量子器件制備中的儀器，用于制備各種高純金屬薄膜和氧化物薄膜。開展量子計算機實驗研究，如基于金剛石NV色心，離子阱，超導量子結(jié)，量子點電子自旋的研究，均需要蒸鍍各種高質(zhì)量金屬薄膜來制備量子器件。此款高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀（HV E-beam evaporation system）得到科研工作者廣泛使用和推崇，并且具有良好的聲譽。利用上述配置，研究者可以制備各種高品質(zhì)和高度可重復性薄膜材料。

目前包括物理所、清華大學、哈爾濱工業(yè)大學、蘇州醫(yī)工所、長春光機所、上海酸鹽研究所等單位均在使用相關設備；在國際上也獲得了美國(Yale Univ, Princeton Univ, UCSB, Chicago Univ, Raytheon）、英國（Glasgow Univ）、德國（KIT Karlsruhe, Dresden Univ）、日本(NTT, RIKEN, Tokyo Univ)、加拿大(Waterloo Univ, Sherbrooke Univ)、法國 (CNRS, CEA, Thales Group, Grenoble, IEMN, Univ Geneva)、瑞士(ETH Zurich)、瑞典(Chalmers Univ)、俄羅斯(SKOLKOVO)、意大利（STMicroelectronics）等國家的機構(gòu)的高度認可。